دیگر لازم نیست تجهیزات خود را گرم کنید؛ در عوض، میتوانید ویفرها را گرم کنید.
اگر تا به حال از روش گرمایش مقاومتی استفاده کردهاید، میدانید که چه اتفاقی میافتد: سعی میکنید ویفر را گرم کنید، اما در واقع کل محفظه داخلی تجهیزات گرم میشود. این کار باعث هدررفت انرژی میشود؛ صراحتاً، این روش بسیار آزاردهنده است. هیچ کس دوست ندارد با دیوارهای تجهیزاتی که به حد خطرناکی گرم میشوند، سروکار داشته باشد.
ما فکر کردیم که روش بهتری وجود دارد. به جای گرم کردن کل هوای اطراف، از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم.
نکته مهم این است: این لامپها تابش الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت ویفر ارسال میکنند. از آنجایی که از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم، انرژی از هوای اطراف عبور کرده و مستقیماً وارد ماده میشود. در نتیجه، ویفر به گرمای لازم خود میرسد، اما سطح خارجی تجهیزات سرد باقی میماند.
جزئیات فنی:
ما از شیشههای ارزانقیمت استفاده نمیکنیم؛ این لامپها در پوشش کوارتز با چگالی بالا قرار دارند تا در هنگام تغییر سریع دما، ترک نخورند.
برای افزایش کارایی، از فاصله کانونی مناسب و پشتوانههای بازتابنده استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود گرما دقیقاً در جای مناسب تمرکز شود. در نتیجه، گرمای تولید شده فقط در ناحیه مورد نظر قرار میگیرد و به سایر نواحی سرایت نمیکند.
نکات مهم درباره تجهیزات:
ما از کانکتورهای خاصی استفاده میکنیم تا مطمئن شویم که تمام تجهیزات به درستی وصل هستند، حتی در شرایط لرزش زیاد. همچنین، اگر میخواهید این لامپها را در سیستمهای قدیمی استفاده کنید، حتماً ولتاژ مورد نیاز را بررسی کنید. لامپهای با توان بالا میتوانند دمای مورد نظر را به سرعت ایجاد کنند، اما میتوانند فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد کنند.
معایب این روش:
این روش جادویی نیست؛ چند نکته وجود دارد که باید به آنها توجه کرد.
بزرگترین مشکل، یکنواختی گرمای تولید شده است؛ از آنجایی که گرما به صورت متمرکز ایجاد میشود، تنظیم دقیق موقعیت لامپ بسیار مهم است. اگر لامپ چند میلیمتر از جای مناسب خارج شود، دمای ویفر ناهموار خواهد بود. بنابراین، باید در هنگام نصب، موقعیت لامپ و زاویه بازتابنده را به درستی تنظیم کنید تا از ایجاد نواحی سرد در ویفر جلوگیری شود.
همچنین، فراموش نکنید که سیستم تهویه نیز باید قادر به مدیریت دمای بالا باشد. حتی اگر دیوارههای تجهیزات سرد باقی بمانند، خود ویفر تحت تأثیر گرمای متمرکز قرار میگیرد. اگر سیستم خلا شما قادر به مدیریت این دما نباشد، ممکن است با مشکلاتی مانند اتمسفرزایی مواد چسبنده یا آلایندهها مواجه شوید. حتماً مطمئن شوید که سیستم خلا شما قادر به مدیریت دمای بالا باشد.