حفظ ایمنی در هنگام گرم کردن ویفرها در مناطق پرخطر
بیایید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در مناطق تمیزکاری شیمیایی، مانند بازی با آتش است. وقتی که بخارات قابل اشتعال در اطراف وجود دارد، حتی یک جرقه کوچک نیز میتواند به فاجعه منجر شود.
برای جلوگیری از این اتفاق، ما از لامپهای با ساختار باز استفاده نکردیم؛ در عوض، از سیستمهای مادون قرمز استفاده کردیم. در ادامه توضیح میدهیم که این روش چگونه کار میکند.
راز، در سیستم ضدنفوذ است
ما لوله کوارتزی را در معرض هوا قرار نمیدهیم؛ چون این کار میتواند خطرات زیادی به همراه داشته باشد.
لامپهای ما در یک پوشش کوارتزی یا سافیری محصور شدهاند؛ این پوشش، نوعی پوسته محافظ است که فیلامنتهای الکتریکی را از تماس با هوا دور نگه میدارد. این کار باعث میشود که مواد شیمیایی موجود در محیط، به قسمتهای داخلی لامپ نفوذ نکنند. همچنین، از سیستمهای ضدنفوذ در نقاط اتصال الکترودها نیز استفاده میکنیم. چرا؟ چون اگر مواد شیمیایی وارد سیمهای لامپ شوند، میتوانند آنها را در مدت کوتاهی از بین ببرند.
مدیریت گرما و خطرات
نمیتوانیم یک لامپ مادون قرمز با توان بالا را در کنار مخازن حاوی مواد شیمیایی قرار دهیم؛ چون این کار میتواند منجر به انفجار شود.
ما فاصله ایمن را با توجه به تابش حداکثری لامپ و نقطه اشتعال مواد شیمیایی مورد استفاده، تعیین میکنیم. با تنظیم فاصله کانونی و استفاده از منعکسکنندهها، میتوانیم گرما را دقیقاً به سمت ویفر هدایت کنیم؛ در حالی که بقیه بدنه لامپ در دمای مناسبی باقی میماند تا از اشتعال جلوگیری شود.
تضادهای موجود
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از این لایه محافظ، باعث کاهش کمی کارایی لامپ میشود.
متوجه خواهید شد که این لامپ، به اندازه لامپهای ساده، قدرتمند نیست. برای جبران این مشکل، ممکن است نیاز باشد توان لامپ را افزایش دهیم یا اجازه دهیم ویفر برای مدت بیشتری تحت گرما قرار بگیرد تا دمای مورد نظر حاصل شود.
نحوه نصب صحیح
برای جلوگیری از ایجاد جرقه، از کانکتورهای قوی در این دستگاهها استفاده میکنیم. اما نکته مهم، سیستم زمینگیری است. لطفاً مطمئن شوید که سیستم زمینگیری شما کاملاً محکم است؛ زیرا زمینگیری ضعیف در محیطهای شیمیایی، میتواند خطرات زیادی به همراه داشته باشد.
یک نکته دیگر: یک ترموکوپل خارجی روی بدنه لامپ قرار دهید؛ این ترموکوپل، نوعی سیستم ایمنی است. طوری تنظیم کنید که اگر بدنه لامپ بیش از حد گرم شود، سیستم بلافاصله برق را قطع کند. بهتر است که لامپ ناگهان خاموش شود، تا اینکه دچار آتشسوزی شود.