جلوی گرم شدن بیش از حد ابزارهای مورد استفاده در فرآیندهای تولید را بگیرید!
آیا تا به حال متوجه شدهاید که گرمایش با استفاده از موجات مادون قرمز، چطور همه چیز را گرم میکند؟ این مانند سعی در روشن کردن یک شمع با استفاده از تبر برقی است. شما میخواهید سطح ویفر گرم شود، اما در عوض، کل محفظه خلأ، تمام انرژی گرمایی را جذب میکند.
این «گرمای اضافی» یک مشکل بزرگ است؛ زیرا باعث میشود بدنه ابزارهای گرانقیمت، به یک منبع گرمایی عظیم تبدیل شود. این امر منجر به اختلالات حرارتی میشود؛ و بدتر از همه، خطر سوختن افراد در محیط کار وجود دارد.
ما راه بهتری پیدا کردیم: گرمایش جهتدار.
نحوه کارکرد آن:
در عوض ارسال گرما به تمام جهات، از لامپهای مادون قرمز با امواج کوتاه و آینههای دقیق برای انتقال گرما استفاده میکنیم. فکر کنید که در حال تغییر از لامپ عادی به لیزر هستید؛ انرژی مستقیماً روی سطح ویفر ارسال میشود.
نتیجه چیست؟ دیوارههای محفظه همچنان خنک باقی میمانند. شما همچنان میتوانید از سرعت بالای لازم برای فرآیندهای تولید استفاده کنید، اما بدنه ابزارها گرم نخواهد شد.
جزئیات و مزایا/معایب:
ما از لولههای کوارتزی با توان بالا استفاده میکنیم؛ زیرا آنها قدرت زیادی دارند. این لولهها برای داشتن چگالی انرژی بالا طراحی شدهاند؛ بنابراین ویفر در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسد.
اما مشکل اینجاست که باید مراقب سیستمهای خنککننده باشید. چون پرتو گرما بسیار متمرکز است، تراکم گرما در نقطه مرکز بسیار بالاست. اگر سیستم خنککننده نتواند این بارهای حرارتی را تحمل کند، نقاط گرم در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. این یک معامله است؛ اما اگر مشخصات فنی مناسب باشد، مدیریت آن آسان است.
امنیت بیشتر در محیط کار:
وقتی دیوارهها دیگر گرمای اضافی را جذب نکنند، سطح خارجی دستگاه نیز خنک باقی میماند. این موضوع برای افرادی که ابزارها را بارگیری میکنند یا تعمیرات لازم را انجام میدهند، بسیار مفید است؛ دیگر نیازی نیست از سطوح گرم اجتناب کنند.
علاوه بر این، ضدآبها و جوشههای مورد استفاده نیز میتوانند مدت زمان بیشتری کار کنند؛ زیرا دیگر تحت تأثیر گرمای غیرمستقیم قرار نمیگیرند.
بهترین قسمت این است که این قطعات را میتوان به راحتی جایگزین قطعات قدیمی کرد؛ کافی است آنها را به کنترلرهای موجود متصل کنید.