در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، باقیمانده فلاکس پس از ایجاد ساختارهای مورد نظر روی ویفر، صرفاً یک آلاینده نیست؛ بلکه مانند یک بمب منفجره است که در حالت آمادهباش قرار دارد.
تبخیر ناقص فلاکس، باعث ایجاد حفرهها و اتصالات نامناسب میشود؛ در نتیجه، نرخ بازیافت مواد کاهش مییابد و میزان انرژی مصرفی نیز از حد مجاز فراتر میرود. ما این سیستم را طوری طراحی کردهایم که این مشکلات را از همان ابتدا رفع کند.
آنچه واقعاً مهم است
این دستگاه، فلاکس را با استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه، به سرعت و به شکل کنترلشدهای تبخیر میکند؛ همچنین، دمای سطح ویفر را در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند. فرستندههای کوارتزی، گرمای تمیز و بدون ذرات لازم را تأمین میکنند؛ همچنین، مسیر خروج گازها نیز با استانداردهای اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ سازگار است؛ بنابراین، احتمال ورود آلایندهها به داخل دستگاه وجود ندارد.
قابلیت تکرارپذیری این دستگاه در هر چرخه تولید وجود دارد؛ همچنین، کنترل دقیق دما و زمان، به حفظ پایداری فرآیند کمک میکند. عایقبندی با الیاف کربنی نیز باعث کاهش مصرف انرژی و حفظ پایداری دما میشود؛ حتی در شرایط تولید با حجم بالا نیز.
چرا این روش در شرایط واقعی مؤثر است
چه در فرآیند خشک کردن ویفر، چه در فرآیندهای لیتوگرافی یا بستهبندی، نیاز به کنترل دمایی وجود دارد؛ این سیستم، فلاکس را به طور دقیق از بین میبرد، بدون اینکه به لایههای فلزی زیر ویفر آسیبی برسد.
فرآیند پردازش فوتورزیست نیز در محدوده مجاز باقی میماند؛ همچنین، چرخههای تمیزکاری و خشک کردن نیز سریعتر انجام میشوند؛ در نتیجه، نیاز به تولید مجدد کمتر میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا دستگاه تنها در زمان نیاز گرما تولید میکند و دما را در حد مجاز حفظ میکند؛ بنابراین، میتوانید دستگاه را ۲۴ ساعته روشن نگه دارید، و بازههای تعمیرات را نیز به خوبی برنامهریزی کنید.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفت
ابعاد این دستگاه کوچک است، اما نیاز به تنظیمات دقیقی برای جریانهای انرژی وجود دارد؛ همچنین، نیاز به هوای تمیز و ولتاژ پایدار نیز وجود دارد. زمان راهاندازی دستگاه کوتاه است، اما باید تنظیمات مربوط به جریانهای انرژی را بر اساس نوع فلاکس و ویفر انجام داد.
پس از تنظیمات لازم، خطرات مربوط به حفرهها و باقیماندههای فلاکس کاهش مییابد؛ با تنظیم مناسب فلاکس، نتایج مطلوب به دست خواهد آمد.