چرا از طلا برای جلوگیری از اتلاف گرما استفاده میکنیم؟
اگر هنگام فرآوری ویفر، مصرف انرژی بسیار زیادی وجود داشته باشد، اما دمای ویفر به حد مورد نظر نرسد، احتمالاً مشکلی در ساختار دستگاه وجود دارد. در واقع، گرمای تولید شده از بین میرود؛ به جای اینکه به ویفر برسد، این انرژی به بدنه دستگاه منتقل میشود. این کار، در واقع اتلاف انرژی است.
به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
موضوع، زیبایی نیست…
باید روشن باشد که ما از طلا برای زیباتر شدن دستگاه استفاده نمیکنیم. منعکسکنندههای استاندارد آلومینیومی، انرژی بسیار زیادی را جذب میکنند. اما طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار کارآمد است.
با استفاده از لایه طلا، میتوانیم جریان انرژی را متمرکز کنیم. در نتیجه، دمای سطح ویفر به حد مورد نظر میرسد، بدون اینکه نیاز به افزایش توان دستگاه باشد. این کار باعث میشود هزینه برق کمتر شود و دستگاه خنکتر کار کند.
قرار دادن گرما دقیقاً در محل مناسب
هدف واقعی، افزایش تراکم گرماست. هیچ کس نمیخواهد که روی سطح ویفر نقاط سرد وجود داشته باشد؛ زیرا این امر باعث ایجاد نتایج ناپایدار و هدررفت مواد زیادی میشود.
ما منحنی این منعکسکنندهها را به گونهای تنظیم میکنیم که انرژی دقیقاً در ناحیه مورد نظر قرار بگیرد. این کار باعث میشود زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کاهش یابد. علاوه بر این، سطح ویفر به طور یکنواخت گرم میشود.
مشکلات و راهحلها
مشکل اینجاست که وقتی انرژی زیادی متمرکز میشود، بدنه منعکسکننده آسیب میبیند. در حالی که ویفر گرمای لازم را دریافت میکند، بدنه دستگاه تحت فشار زیادی قرار میگیرد.
در این صورت، لازم است از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده کنیم. اگر جریان هوا ضعیف باشد، بدنه دستگاه دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. در این صورت، پوشش طلا شروع به تخریب میکند و کارایی دستگاه کاهش مییابد.
باید سطح طلا را تمیز نگه داشت؛ اگر کثیف یا اکسیده شود، انرژی بازتابی کاهش خواهد یافت. در این صورت، باید برای جبران این مشکل، از حرارتدهندههای بیشتری استفاده کرد. این کار بیفایده است. باید سطح طلا را تمیز نگه داشت و جریان هوا را حفظ کرد؛ در این صورت، سیستم خودش کار خود را انجام خواهد داد.