در خط تولید، حتی تغییر دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت نرم فوتورزیست، میتواند باعث از بین رفتن بخش عمدهای از محصول شود. خشک کردن ویفر نیز زمانی مختل میشود که پروفایل ترمال نتواند در سراسر سطح ویفر یکنواخت باقی بماند. ما هیترهای نیمههادی کنترلشونده توسط PID را طراحی کردهایم تا این نوسانات را کاهش دهند؛ همچنین سیستم کنترل اینفراردیفراکتیو نیز برای حفظ استابیلی ترمال در سطح ویفر به کار رفته است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندههای اینفراردیفراکتیو با پاسخگویی سریع، همراه با کنترلکنندههای PID با وضوح بالا، استفاده میکنیم تا دمای صفحه را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه داریم. این کار باعث میشود که پروفایلهای پخت در فرآیندهای پخت نرم و سخت یکنواخت باشد؛ همچنین یکنواختی در سراسر ویفر نیز حفظ میشود. این سیستم در محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ قابل استفاده است؛ همچنین طراحی این سیستم باعث میشود که تولید ذرات در حد صفر باقی بماند. برای ذخیره اطلاعات مربوط به فرآیند، کنترلکننده چندین الگوریتم را ذخیره میکند و ردیفهای دمایی را نیز ثبت میکند؛ این کار بدون نیاز به کارهای اضافی انجام میشود.
چرا این روش در فرآیندهای لیتوگرافی و خشک کردن مهم است؟
در فرآیند لیتوگرافی، نیاز به پخت نرم یکنواخت وجود دارد تا چسبندگی فوتورزیست تنظیم شود و حلالهای موجود در آن از بین بروند. در فرآیند خشک کردن ویفر نیز، نیاز به گرمای کنترلشده وجود دارد تا مواد تمیزکننده از بین بروند و رسوبات مجدد ایجاد نشوند. روش PID اینفراردیفراکتیو باعث میشود که این یکنواختی حفظ شود؛ همچنین زمان انجام فرآیند کاهش مییابد و مقدار محصولات از بین رفته نیز کم میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما فقط در زمان لازم تولید میشود؛ همچنین سیستم میتواند بدون توقف، شیفت پس از شیفت کار کند.
چه تنظیماتی ضروری هستند؟
هیترهای اینفراردیفراکتیو نیاز به تنظیمات دقیق و مسیر نوری تمیز برای حفظ استابیلی دارند. باید زمان کافی برای تنظیم پارامترهای PID در نظر گرفته شود؛ همچنین باید اطمینان حاصل شود که رابط کنترلی دستگاه با پورتهای هیتر و سیگنالهای کنترلی آن سازگار باشد. پس از انجام این تنظیمات، سیستم به خوبی کار خواهد کرد؛ اما این مرحله تنظیم ضروری است.