Warum wir auf die Infrarot-Härtung in den Wafernfabriken umsteigen Der Wechsel von der trocknungsbedingten Behandlung mit Lösungsmitteln zur...

IR-Heizung gegen Heißluft: Hören Sie auf, Zeit mit der Aushärtung der Wafer zu verschwenden Wenn Sie weiterhin auf die Verwendung von Heißluft zur...

Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit aus den Wafern zu entfernen. Doch dabei...

Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer. Wenn Sie bereits einmal eine herkömmliche Widerstandsheizung...

Verhindern Sie eine Überhitzung Ihrer Wafer-Bearbeitungswerkzeuge Ist Ihnen schon aufgefallen, dass herkömmliche Infrarotheizungen einfach alles mit...

Sicherheit bei der Erwärmung von Wafern in empfindlichen Bereichen Seien wir ehrlich: Die Erwärmung von Wafern in einer chemischen Reinigungszone ist...

In der 300-mm-Linie ist der Rückstand an Flussmittel nach der Herstellung der „Bumps“ keine bloße Verunreinigung – es handelt sich dabei um eine...

In der Praxis funktionieren SiC-Wafern nicht gut mit herkömmlichen Heizplatten. Für den weichen Backvorgang, den harten Backvorgang sowie die...

In der Fertigungshalle legt das thermische Budget des Oxidationsofens die Grundlage für die Integrität des Gate-Oxids auf der gesamten...

Auf dem Fertigungsbereich ist ein Softbake bei 110 °C mit ±1,5 °C Drift nicht nur ein Parameter – es ist ein Ertragsrisiko, das darauf wartet, sich...