Sicherheit bei der Erwärmung von Wafern in empfindlichen Bereichen
Seien wir ehrlich: Die Erwärmung von Wafern in einer chemischen Reinigungszone ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Wenn brennbare Dämpfe in der Luft schweben, kann ein einziger Funke oder ein thermischer Ausbruch nicht nur zu technischen Problemen führen, sondern auch zu einem Desaster.
Um das zu verhindern, haben wir auf Lampen mit offenen Elementen verzichtet. Stattdessen verwenden wir eingehüllte Infrarot-Systeme. So funktioniert das in der Praxis:
Das Geheimnis liegt in der Abdichtung
Wir lassen die Quarzröhre nicht einfach offen liegen – das würde nur Probleme verursachen. Unsere Lampen sind in eine dichte, hochwertige Quarz- oder Saphirhülle eingebettet. Man kann das als Schutzschicht betrachten, die die Elektroden vor der Luft schützt. Dadurch können korrosive Reinigungsmittel den inneren Teil der Lampe nicht berühren. Auch an den Elektrodenschnittstellen verwenden wir dichte Abdichtungen. Warum? Weil Chemikalien, die in die Leitungen eindringen, diese schnell zerstören würden.
Kontrolle der Hitze – und der damit verbundenen Risiken
Man kann keine Hochleistungs-Infrarotlampe einfach neben einen Behälter mit brennbaren Chemikalien platzieren – das ist ein Rezept für eine Explosion. Wir bestimmen den sicheren Abstand anhand der Spitzenleistung der Lampe sowie des Brennpunkts der verwendeten Chemikalien. Durch Anpassung der Brennweite sowie Verwendung von Reflektoren können wir die Hitze genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer. Gleichzeitig bleibt der Rest des Gehäuses kalt genug, um eine Entzündung zu vermeiden.
Der Kompromiss
Nichts ist perfekt. Die Zugabe dieser Schutzschicht zwischen Quelle der Hitze und Wafer bedeutet, dass die Effizienz etwas abnimmt. Die Lampe wird dadurch weniger leistungsstark. Um das auszugleichen, muss man entweder die Leistung erhöhen oder die Wafer etwas länger unter der Wärme belassen, bis die gewünschte Temperatur erreicht ist.
Richtige Installation
Wir verwenden verstärkte Anschlüsse, um Kurzschlüsse zu vermeiden. Doch der eigentliche Schlüssel ist die ordnungsgemäße Erdung. Stellen Sie sicher, dass die Erdung wirklich zuverlässig ist. Eine instabile Erdung in einer chemischen Umgebung führt unweigerlich zu Problemen.
Noch ein Tipp: Befestigen Sie einen externen Thermoelement an der Außenhülle. Das ist Ihre Sicherheitsnetz. Stellen Sie es so ein, dass das System sofort abschaltet, wenn die Hülle zu heiß wird. Besser ein plötzlicher Abschaltvorgang als ein Brand.