Verhindern Sie eine Überhitzung Ihrer Wafer-Bearbeitungswerkzeuge
Ist Ihnen schon aufgefallen, dass herkömmliche Infrarotheizungen einfach alles mit Wärme überschwemmen? Es ist, als würde man versuchen, eine Kerze mit einem Flammenwerfer anzuzünden. Man möchte zwar, dass die Wafer heiß werden – doch stattdessen nimmt die gesamte Vakuumkammer all diese Strahlungsenergie auf.
Diese „unnötige Wärme“ ist ein Albtraum. Sie verwandelt das teure Gehäuse der Werkzeuge in einen riesigen Wärmeleiter – was zu thermischen Problemen führt. Am schlimmsten ist jedoch die Gefahr, dass jemand auf dem Arbeitsplatz verbrannt wird.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: gezielte Heizung.
Wie das funktioniert
Anstatt Wärme in alle Richtungen abzustrahlen, verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen sowie Präzisionsreflektoren. Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer Glühbirne zu einem Laser vor. Die Energie wird direkt auf die Oberfläche der Wafer gelenkt.
Das Ergebnis? Die Wände der Vakuumkammer bleiben kühl. Sie erhalten weiterhin die schnellen Erwärmungsgeschwindigkeiten, die für die RTP-Verarbeitung notwendig sind – doch das Gehäuse der Werkzeuge wird dabei nicht überhitzt.
Die Details – und die Kompromisse
Wir verwenden Hochleistungsquartstube, da sie eine hohe Leistung liefern können. Sie sind dafür konzipiert, eine hohe Leistungsdichte zu erzeugen – dadurch erreicht die Wafer die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle.
Aber Achtung: Man muss darauf achten, dass das Kühlsystem mit diesen hohen Belastungen zurechtkommt. Denn da der Strahl so konzentriert ist, ist die Wärmezufuhr am Fokuspunkt sehr hoch. Wenn das Kühlsystem diesen Spitzenlasten nicht standhalten kann, entstehen lokal hohe Temperaturen auf der Wafer-Oberfläche. Es handelt sich dabei um einen Kompromiss – doch dieser lässt sich leicht bewältigen, wenn die Spezifikationen stimmen.
Sicheres Arbeiten im Betrieb
Wenn die Wände keine unnötige Wärme mehr aufnehmen, bleibt die Außenseite der Maschine angenehm kühl. Das ist eine große Erleichterung für die Personen, die die Werkzeuge einsetzen oder Wartungsarbeiten durchführen müssen. Kein mehr Umrunden von heißen Oberflächen.
Außerdem halten die Dichtungen und Gummiteile länger. Normalerweise zerstören diese Teile viel zu früh, weil sie ständig durch indirekte Wärme beeinträchtigt werden. Jetzt können sie einfach ihre Aufgabe erfüllen.
Das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt in die bestehenden Steuergeräte eingebaut werden können. Dadurch wird die Wärmeentwicklung deutlich reduziert. Einfach.