IR-Heizung gegen Heißluft: Hören Sie auf, Zeit mit der Aushärtung der Wafer zu verschwenden
Wenn Sie weiterhin auf die Verwendung von Heißluft zur Behandlung von Halbleitern setzen, kämpfen Sie im Grunde genommen gegen die Zeit selbst.
Das Problem ist folgendes: Luft ist einfach nicht geeignet, Wärme effektiv zu übertragen. Bei der Verwendung der erzwungenen Konvektion muss zunächst die Luft erhitzt werden, anschließend der Raum – und erst danach die Wafer. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess. Dabei entsteht eine lästige Verzögerung, die Ihre Produktionszeit verkürzt.
Kein Zwischenhändler mehr nötig
Deshalb nutzen wir IR-Lampen. Anstatt darauf zu warten, dass sich die Luft erwärmt, senden die IR-Lampen elektromagnetische Strahlung direkt auf die Oberfläche der Wafer. Dadurch wird die Wafer sofort erwärmt. Wir verwenden spezielle Reflektoren, damit die Energie genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird. So wird nicht unnötig die Maschine selbst erhitzt. Die gewünschte Temperatur wird innerhalb von Sekunden erreicht. Wenn man nicht mehr auf das Aufheizen warten muss, steigt die Produktivität deutlich an.
Es kommt auf die Reflektoren an
Der eigentliche Schlüssel liegt in der Konstruktion der Reflektoren. Wenn man billige Reflektoren verwendet, geht die Hälfte der Energie nutzlos verloren. Wir verwenden hochreflektierende Beschichtungen, damit jeder einzelne Photon wieder auf die Wafer zurückgeworfen wird. Dadurch entsteht ein konzentriertes Wärmeprofil. Dadurch wird die Wafer gleichmäßig erhitzt – und vor allem: Sie verformt sich nicht.
Die Einschränkungen
Es handelt sich dabei natürlich nicht um eine „Zauberlanze“. Es gibt auch Nachteile. Hochintensive IR-Lampen werden extrem heiß. Wenn die Reflektoren nicht optimal funktionieren oder die Kühllüfter mit der Belastung nicht fertigwerden, können die Lampen beschädigt werden oder die Gehäuse verformen. Man muss also sorgfältig abwägen, wie viel Leistung benötigt wird und wie das Kühlsystem damit umgehen kann.
Die Realität vor Ort
Für alle, die genug vom langsamen Aufförmen durch konventionelle Heizmethoden haben, ist IR die beste Lösung. Dadurch wird die Größe der Aushärtungsstation verringert – und die Zeit, die man für die Aushärtung aufwendet, wird minimiert. Schließen Sie die Anlage an, justieren Sie die Reflektoren – und sehen Sie, wie sich die Zykluszeiten verbessern.