如何让100级洁净室保持绝对清洁
在半导体制造领域，哪怕只有一粒灰尘或一小片金属氧化物颗粒，都足以毁掉一块芯片。这种情况实在很糟糕。大多数加热元件并不适合在这种环境中使用——因为它们在加热和冷却过程中会释放出气体或微小颗粒。
因此，我们选用高纯度的合成石英红外灯。这类灯就是为100级（ISO 5标准）洁净室设计的，因为它们不会产生任何杂质。
秘诀在于石英本身。
我们使用的石英几乎不含任何杂质。这样一来，这些灯在运行时就不会释放出离子或颗粒。普通玻璃在高温下容易变形，而这种石英则能在极端温度下保持稳定状态。它能够确保真空密封效果，同时维持加热区域的纯净度。
高效的加热方式，减少混乱。
这些灯能发出集中的短波红外辐射。最棒的是，它们可以直接加热基板，从而避免浪费能源来加热空气或机器外壳。这样可以有效防止对流现象的产生。如果过度加热空气，就有可能把地板上的灰尘带入生产区域，而这当然是不可取的。
您可以根据自身需求选择合适的功率和长度。需要注意的是，这些灯会在很小的区域内产生极高温度。如果您选择高功率型号，那么必须确保冷却系统能够承受这样的温度，否则就会导致灯座被烧坏。
一些容易被忽视的细节。
我们使用精确匹配的连接器，因为连接不牢固会导致问题。不牢固的连接会导致电弧放电，而电弧放电又会生成金属微粒。对于芯片制造商来说，这无疑是个大麻烦。
最后一点：在接线时，请务必戴上防静电手套。哪怕只有一个指纹留在上面，也会留下油脂。一旦灯光开始工作，这些油脂就会渗入石英中，形成“热点”，从而导致灯管过早损坏。
幸运的是，这些灯可以直接替换大多数高端芯片制造设备中的旧灯管，因此安装起来相当简单。