Làm thế nào để sấy khô wafer MEMS một cách hiệu quả?
Khi sản xuất các cảm biến MEMS, việc loại bỏ hơi ẩm là một thách thức lớn. Bạn cần wafer phải được sấy khô hoàn toàn, nhưng bạn không thể dùng nhiệt độ cao để sấy, vì điều đó sẽ làm biến dạng bề mặt wafer hoặc để lại những tạp chất trên bề mặt wafer.
Đây chính là lúc các thiết bị sấy bằng tia hồng ngoại ra đời. Chúng sử dụng các bóng đèn thạch anh có cường độ cao, giúp sấy khô bề mặt wafer trong vài giây thôi. Thật nhanh!
Việc cân bằng giữa công suất và nhiệt độ
Bạn không thể chỉ tăng công suất lên mà mong đợi kết quả tốt. Nếu làm vậy, bạn sẽ gặp phải những điểm nóng quá mức, khiến wafer bị hỏng. Chúng tôi dành nhiều thời gian để tìm ra tỷ lệ công suất và điện áp phù hợp, tùy thuộc vào kích thước của buồng xử lý. Tất nhiên, công suất càng cao thì tốc độ xử lý càng nhanh, nhưng điều đó cũng gây áp lực lớn lên hệ thống cấp điện. Bạn cần điều chỉnh khoảng cách giữa bóng đèn và bề mặt wafer, cũng như chu kỳ hoạt động của bóng đèn, để đảm bảo nhiệt độ bề mặt ở mức phù hợp.
Những thành phần quan trọng trong thiết bị
Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao để chế tạo vỏ bóng đèn. Tại sao ư? Vì điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là việc khí độc từ bóng đèn bay vào buồng sạch. Chúng tôi cũng sử dụng lớp phủ sóng ngắn. Sóng hồng ngoại sóng ngắn có khả năng xuyên qua lớp hơi ẩm tốt hơn nhiều so với sóng hồng ngoại sóng dài. Vì những bóng đèn này phải hoạt động liên tục, chúng tôi sử dụng các connector chất lượng cao để đảm bảo chúng không bị hỏng sau vài tuần sử dụng.
Những thực tế trong quá trình sử dụng
Thành thật mà nói, việc lắp đặt những thiết bị sấy này vào dây chuyền sản xuất MEMS không hề đơn giản chút nào. Cường độ nhiệt rất cao. Nếu bạn không có hệ thống làm mát hiệu quả hoặc hệ thống thông gió tốt, thì nhiệt độ cao đó sẽ làm hỏng các linh kiện điện tử trong máy móc. Khi các linh kiện bị quá nóng và hoạt động không ổn định, bạn sẽ gặp rất nhiều vấn đề.
Một vài mẹo hữu ích
Hãy sử dụng các bóng đèn có thể thay thế dễ dàng. Điều này giúp việc bảo trì trở nên đơn giản hơn, đồng thời giảm thời gian ngừng máy. Hãy luôn sử dụng máy đo nhiệt độ đã được calibrat để kiểm tra nhiệt độ bề mặt trước khi bắt đầu quy trình sản xuất. Đây là cách nhỏ nhưng có thể giúp tiết kiệm rất nhiều silicon.