Hãy ngừng việc sử dụng phương pháp làm nóng thông thường để làm nóng các tấm wafer đi. Nếu bạn từng sử dụng phương pháp này, bạn chắc hẳn biết rõ tình trạng khó chịu mà nó gây ra: bạn cố gắng làm nóng tấm wafer, nhưng thực chất lại làm nóng toàn bộ buồng máy. Điều này khiến lãng phí năng lượng, và thật sự rất phiền phức. Không ai muốn phải đối mặt với tình trạng các bộ phận của máy nóng đến mức nguy hiểm khi chạm vào.
Chúng tôi nghĩ ra một cách tốt hơn. Thay vì làm nóng toàn bộ không khí xung quanh, chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại có khả năng chiếu ánh sáng trực tiếp vào tấm wafer. Nhờ việc sử dụng sóng hồng ngoại tần số cao, năng lượng sẽ tập trung vào chính tấm wafer, mà không ảnh hưởng đến không khí xung quanh. Kết quả là tấm wafer nhận được lượng nhiệt cần thiết, trong khi các bộ phận bên ngoài của máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
Chi tiết kỹ thuật: Chúng tôi không sử dụng loại thủy tinh rẻ tiền. Những chiếc đèn này được bao bọc bởi chất liệu thạch anh có độ dichte cao, giúp chúng không bị nứt vỡ khi nhiệt độ thay đổi nhanh chóng. Để tăng hiệu suất, chúng tôi còn điều chỉnh khoảng cách tập trung của ánh sáng và thêm lớp phản xạ để giúp tập trung nhiệt lượng vào chính vị trí cần thiết. Bạn sẽ có được hiệu ứng làm nóng chính xác, mà không có sự lan tỏa nhiệt sang các khu vực khác.
Lưu ý về phần cứng: Chúng tôi sử dụng các loại konektor chuyên dụng để đảm bảo mọi thứ vẫn được kết nối tốt, ngay cả khi máy hoạt động trong điều kiện có nhiều rung động. Nếu bạn muốn thay thế những chiếc đèn này vào hệ thống cũ, hãy kiểm tra kỹ điện áp. Những chiếc đèn công suất cao có thể giúp bạn đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng, nhưng chúng cũng có thể gây áp lực lớn lên nguồn điện.
Những điều cần lưu ý: Đây không phải là phép màu. Có một vài điều mà bạn cần lưu ý. Vấn đề lớn nhất là sự đồng đều của nhiệt độ. Vì nhiệt lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, nên việc định vị đèn sao cho chính xác là rất quan trọng. Nếu đèn lệch vài milimét, nhiệt độ trên tấm wafer sẽ không đồng đều. Bạn cần dành thời gian để điều chỉnh vị trí đèn và góc phản xạ sao cho chính xác, nhằm tránh những vùng lạnh trên tấm wafer.
Đừng quên vấn đề thông gió. Mặc dù các bộ phận bên ngoài máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, nhưng chính tấm wafer lại nhận được lượng nhiệt lớn. Nếu hệ thống chân không của bạn không đủ mạnh, bạn có thể gặp phải tình trạng khí độc được giải phóng từ các chất kết dính hoặc tạp chất. Hãy đảm bảo rằng hệ thống chân không của bạn có thể chịu được nhiệt độ cao mà bạn đặt ra.