Ngăn chặn việc các dụng cụ xử lý wafer bị quá nóng
Bạn có bao giờ để ý rằng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại thông thường lại khiến mọi thứ xung quanh bị nóng lên không? Đó giống như việc cố gắng thắp nến bằng máy phun lửa vậy. Bạn muốn wafer được làm nóng, nhưng thực tế thì toàn bộ buồng chân không lại hấp thụ hết năng lượng từ tia hồng ngoại đó.
“Nhiệt lượng dư thừa” này thật là phiền toái. Nó biến thân máy đắt tiền của bạn thành một “bộ tản nhiệt khổng lồ”, dẫn đến sự biến thiên về nhiệt độ – và điều tồi tệ nhất là nguy cơ người lao động bị bỏng trong quá trình làm việc.
Chúng tôi đã tìm ra một phương pháp tốt hơn: sưởi ấm có hướng.
Cách thức hoạt động
Thay vì phát nhiệt ra mọi hướng, chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tần số cao kết hợp với các bộ phản chiếu chính xác. Có thể coi đó như việc thay thế bóng đèn thông thường bằng tia laser. Chúng tôi chiếu năng lượng trực tiếp lên bề mặt wafer.
Kết quả là các bức tường trong buồng chân không vẫn giữ được nhiệt độ mát mẻ. Bạn vẫn có thể đạt được tốc độ làm nóng nhanh như mong muốn, nhưng thân máy thì không bị nóng quá mức.
Những điểm cần lưu ý
Chúng tôi sử dụng các ống thủy tinh có công suất cao vì chúng có khả năng phát nhiệt mạnh. Chúng được thiết kế để tạo ra mật độ năng lượng cao, giúp wafer đạt được nhiệt độ mong muốn chỉ trong vài giây.
Nhưng điều cần lưu ý là bạn phải kiểm soát tốt hệ thống làm mát. Vì tia nhiệt được tập trung vào một điểm cụ thể, nên nhiệt độ ở điểm đó rất cao. Nếu hệ thống làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt này, wafer sẽ bị nóng quá mức. Đó là một sự đánh đổi, nhưng hoàn toàn có thể kiểm soát được nếu bạn tuân thủ các tiêu chuẩn nhất định.
Làm cho môi trường làm việc an toàn hơn
Khi các bức tường không còn hấp thụ nhiệt dư thừa nữa, bề mặt máy sẽ vẫn mát mẻ khi chạm vào. Điều này rất tốt cho những người thao tác trên máy hoặc tiến hành bảo trì. Không còn phải lo lắng về những bề mặt quá nóng nữa.
Ngoài ra, các bộ phận kín nước và gioăng của máy cũng sẽ hoạt động tốt hơn. Thông thường, các bộ phận này sẽ bị hỏng sớm do bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Giờ đây, chúng có thể hoạt động bình thường.
Điều tuyệt vời nhất là những bộ phận này có thể thay thế dễ dàng. Bạn chỉ cần kết nối chúng với các bộ điều khiển hiện có của máy, và ngay lập tức hiệu suất làm mát của máy sẽ được cải thiện đáng kể. Rất đơn giản.