Hãy ngừng việc sử dụng phương pháp làm nóng thông thường để làm nóng các tấm wafer đi. Nếu bạn từng sử dụng phương pháp này, bạn chắc hẳn biết rõ...

Các hành lang thương mại có cấu trúc bán mở rất khó để kiểm soát nhiệt độ. Gió lùa liên tục xuất hiện, và việc duy trì nhiệt độ ổn định đòi hỏi phải...