SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프
실제 가동 환경에서 SiC 웨이퍼는 일반적인 가열판과 잘 어울리지 않습니다. 소프트 베이크, 하드 베이크, 그리고 포스트-어플라이 큐어 과정 모두에서 빠르고 균일한 열을 공급해야 하며, 웨이퍼가 허용 가능한 열 한계를 넘지 않도록 해야 합니다. 온도 균일성이 떨어지면...
고체 전지 가공 히터
이 공정에서는 솔리드스테이트 배터리를 제조할 때, 웨이퍼의 허용 오차만큼이나 열 관리도 매우 중요합니다. 소프트 베이크 과정에서 약간이라도 오차가 생기거나 기판에 냉점이 생기면, 리소그래피 공정의 성능이 저하되고 인터페이스 층에도 결함이 생깁니다. 우리는 모든 단계에...