이 공정에서는 솔리드스테이트 배터리를 제조할 때, 웨이퍼의 허용 오차만큼이나 열 관리도 매우 중요합니다. 소프트 베이크 과정에서 약간이라도 오차가 생기거나 기판에 냉점이 생기면, 리소그래피 공정의 성능이 저하되고 인터페이스 층에도 결함이 생깁니다. 우리는 모든 단계에서 열적 요구 사항을 충족시키기 위해 이러한 솔리드스테이트 배터리 처리용 히터를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점들 우리는 빠르게 반응하는 석영 에미터를 사용하여 짧은 파장의 적외선을 방출함으로써 열을 기판에 직접 전달합니다. 활성 영역 내에서는 웨이퍼의 온도가 ±0.1°C 이내로 유지되며, 샷당 재현성도 ±0.5°C 이내로 유지됩니다. 이 시스템은 클래스 1–100 등급의 청정실에서도 작동 가능하며, 입자가 발생하지 않습니다. 포토레지스트의 프로필도 소프트 베이크부터 하드 베이크까지 일관되게 유지되며, 경화 과정도 밀리초 단위로 정확하게 제어됩니다.
왜 이 기술이 솔리드스테이트 배터리 제조에 적합한가? 이 공정에서는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 예비 가열, 인터페이스 경화 과정이 연속적으로 이루어집니다. 적외선을 사용하면 처리 시간이 단축되고, 클로즈드-루프 제어를 통해 핵심 치수를 정확하게 유지할 수 있습니다. 그 결과, 치수 제어가 더욱 정확해지고, 재작업이 줄어들며, 에너지 사용량도 줄어듭니다. 에너지는 챔버가 아닌 필름과 기판에 직접 전달됩니다. 따라서 공정의 안정성이 높아지고, 생산량도 예측 가능해집니다.
미리 알아두어야 할 사항들 통합 과정은 비교적 간단하지만, 에미터와 기판 사이의 거리를 정확하게 설정해야 합니다. 그곳에서 온도의 균일성이 결정됩니다. 특정 스택에 맞는 설정값을 찾기 위해서는 짧은 시간 동안의 테스트가 필요합니다. 에미터의 수명은 5,000시간 이상이며, 출력 변동도 거의 없습니다. 또한, 온도의 재현성을 유지하기 위해 2,000시간마다 예방적인 보정이 이루어집니다.