제조 현장에서는 소프트 베이크 오븐이 항상 작동하고 있지만, 실제로 문제가 되는 것은 대개 열분석기 내부의 가열 램프입니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 램프의 출력이 2°C만 변해도 치명적인 결함이 발생할 수 있습니다. 그래서 우리는 그러한 불확실성을 없애기 위해 특별한 가열 램프를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점 이 램프는 근적외선(NIR) 에너지를 이용해 작동하며, 빠르고 효율적인 열 전달을 위해 석영으로 만들어진 외피를 사용합니다. 300–600°C의 온도 범위에서 작동하며, 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도 변동을 ±0.1°C 이내로 유지합니다. 전력은 표준화된 고온 커넥터를 통해 공급되며, 이 커넥터는 일반적인 분석기 챔버에 잘 어울립니다.
또한, 필라멘트의 구조와 반사판의 위치를 조정하여 온도 차이를 최소화했습니다. 그 결과, 중심부와 가장자리의 온도가 공정 사양에 맞게 유지됩니다. 예상치 못한 문제가 발생하지 않고, 일관된 열 처리가 가능합니다.
포토리소그래피에서의 활용 포토리소그래피에서 소프트 베이크와 하드 베이크 단계는 포토레지스트의 특성을 결정합니다. 온도의 일관성이 있어야만 CD 값을 정확하게 제어할 수 있으며, 생산 효율도 높아집니다. 이 램프는 클래스 1–100 등급의 청정실 환경에서도 사용할 수 있으며, 고온 지역에서도 입자가 전혀 발생하지 않아 결함이 줄어듭니다.
이 램프는 연중무휴로 작동할 수 있으며, 5,000시간 이상 안정적으로 작동하면서도 강도 저하는 5% 미만입니다. 램프 교체 횟수가 줄어들고, 가동 중단 시간도 줄어듭니다. 따라서 웨이퍼마다, 로트마다 일관된 열 처리가 가능합니다.
계획할 때 고려해야 할 사항 램프에는 적절한 전류 제어 기능을 갖춘 전원 공급 장치가 필요합니다. 기존 분석기를 개조하는 경우, 약간의 기계적 조정이 필요할 수 있습니다. 챔버의 방사율을 제어하고 램프를 정기적으로 재보정하면 최적의 성능을 얻을 수 있습니다.
정기적인 예방 정비 계획에 맞춰 램프를 조정해야 하며, 램프의 정렬도 SOP에 따라 해야 합니다.