니콘 스테퍼 램프 교체

리소그래피 공정에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계가 모든 웨이퍼의 열 예산을 결정한다. 램프가 약간이라도 편차가 생기면 포토레지스트 프로파일은 불확실해져서 중요 치수, 사이드월 각도, 불량 개수 등이 모두 함께 변동한다. Nikon 스테퍼 램프 교체는 이러한 편...