클린룸 장비가 팹을 업그레이드하다

제조 라인에서는 멈춤이 없다. 리소그래피 트랙, 코팅/베이크 모듈, 클리닝 셀은 모두 동기화되어 작동한다. 열 시스템이 조금이라도 변동하면, 포토레지스트 프로파일이 달라지고 CD 제어가 흐트러지며 수율에 영향을 준다. 클린룸 장비 업그레이드는 단순한 외관 개선이 아니...