왜 웨이퍼 제조 공정에서 적외선 경화 방식으로 전환하는가? 용매 기반의 건조 방식을 적외선 경화 방식으로 바꾸는 것은 단순히 유행에 따르는 것이 아닙니다. 사실 이는 물리학적 원리에 따른 간단한 해결책일 뿐입니다. 작은 웨이퍼를 건조시키기 위해 방 전체를 가열할 필요...

IR 가열과 열공기 가열의 비교: 웨이퍼 경화 과정에서 낭비되는 시간을 줄이세요 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그건 마치 시간과 싸우는 것과 같습니다. 문제는 공기가 열을 전달하는 데 매우 부적합하다는 점입니다. 강제 대류 방식을 사...

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서를 생산할 때는 수분을 제거하는 것이 매우 중요합니다. 웨이퍼가 건조해야 하지만, 단순히 열을 가하면 기판이 변형되거나 여러 가지 잔여물이 남게 됩니다. 이때 바로 우리의 적외선 건조 히터가 유용합니다. 고강도...

장비를 더 이상 가열하지 마세요. 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 만약 기존의 저항식 가열 방식을 사용해본 적이 있다면, 그 고충을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 가열하려고 하지만, 결국은 전체 챔버가 가열되고 맙니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 실제로 매우 성가...

웨이퍼 가공 도구가 과열되는 것을 막으세요. 일반적인 적외선 난방 방식은 모든 곳에 열을 골고루 전달한다는 단점이 있습니다. 마치 화염방사기로 촛불을 켜려는 것과 같죠. 웨이퍼를 따뜻하게 하고 싶지만, 오히려 진공 챔버 전체가 그 열 에너지를 흡수해버립니다. 이러한...

휘발성 물질이 있는 곳에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 화학적 세척 구역에서 웨이퍼를 가열하는 것은 마치 불과 장난을 치는 것과 같습니다. 휘발성 기체가 공기 중에 떠다니는 상황에서는 작은 스파크나 열 폭주만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있...

제조 현장에서 110°C에서 ±1.5°C 허용 오차를 가진 소프트 베이크는 단순한 파라미터가 아니라 수율 누출이 발생할 위험 지점이다. 수분 자국, 에지 비드, 패턴 붕괴는 온도 제어가 미세하게 흔들리는 순간부터 시작된다. 웨이퍼를 단순한 배치 처리가 아닌 열 경계...