휘발성 물질이 있는 곳에서 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 화학적 세척 구역에서 웨이퍼를 가열하는 것은 마치 불과 장난을 치는 것과 같습니다. 휘발성 기체가 공기 중에 떠다니는 상황에서는 작은 스파크나 열 폭주만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
이러한 사고를 방지하기 위해 우리는 더 이상 일반적인 전구를 사용하지 않습니다. 대신 밀폐형 적외선 시스템을 사용합니다. 그 작동 원리는 다음과 같습니다.
비밀은 밀봉에 있습니다
우리는 석영관을 그냥 열린 상태로 두지 않습니다. 그렇게 하면 문제가 생깁니다.
우리의 전구는 밀폐된 고급 석영이나 사파이어 소재로 만들어진 외부 케이스로 보호됩니다. 이 케이스는 전기 필라멘트를 공기로부터 보호하는 역할을 합니다. 이를 통해 부식성 세척제가 전구의 내부에 닿는 것을 막을 수 있습니다. 또한 전극 접합부에도 밀봉 처리가 되어 있습니다. 왜일까요? 화학물질이 전선 안으로 침투하면 금방 손상될 수 있기 때문입니다.
열과 위험 관리
고출력 적외선 전구를 휘발성 화학물질이 있는 탱크 바로 옆에 두는 것은 위험합니다. 그렇게 하면 폭발이 일어날 수 있습니다.
우리는 전구의 최대 방사량과 사용되는 화학물질의 인화점을 고려하여 안전한 거리를 결정합니다. 초점 거리를 조절하고 반사판을 사용함으로써, 열을 정확히 웨이퍼에 집중시킬 수 있으며, 나머지 부분은 충분히 차갑게 유지됩니다.
타협점
완벽한 것은 없습니다. 열원과 웨이퍼 사이에 보호층을 추가하면 효율성이 약간 떨어집니다. 따라서 전구만 사용할 때보다는 성능이 조금 떨어질 수 있습니다. 이를 보완하기 위해 출력을 높이거나, 웨이퍼를 좀 더 오랫동안 열에 노출시켜 목표 온도에 도달하도록 해야 합니다.
올바른 설치 방법
우리는 아크 발생을 방지하기 위해 강화된 커넥터를 사용합니다. 하지만 가장 중요한 것은 접지입니다. 반드시 접지가 확실한지 확인하세요. 화학적 환경에서 접지가 제대로 되지 않으면 큰 문제가 생길 수 있습니다.
마지막 팁: 외부 케이스에 온도 센서를 부착하세요. 이는 안전장치입니다. 케이스의 온도가 너무 높아지면 시스템이 즉시 전원을 차단합니다. 화재보다는 갑작스러운 정지가 낫습니다.