웨이퍼 범프의 플럭스 증발
300mm 생산 라인에서는 웨이퍼에 범프가 형성된 후에 남은 플럭스 잔여물이 단순한 오염 요소가 아닙니다. 이는 언제든 폭발할 수 있는 ‘신뢰성의 위협’입니다. 불완전한 증발로 인해 공극이 생기고 연결부가 형성되면서, 급작스럽게 폐기율이 증가하고 열 관리에도 문제가...
웨이퍼 산화용 가열 소자
팹에서는 산화로의 열 관리가 전체 웨이퍼의 게이트 산화막의 무결성을 결정합니다. 단 1°C의 온도 변동만으로도 우수한 품질의 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 특별한 웨이퍼 산화 가열 장치를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점은?...