클래스 100급 청정 환경을 유지하는 방법
반도체 산업에서는 단 한 알의 먼지나 아주 작은 금속 산화물 조각만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이는 매우 치명적인 문제입니다. 대부분의 가열 요소들은 이러한 상황에 적합하게 설계되지 않았습니다. 가열과 냉각 과정에서 미세한 입자들이 발생하기 때문입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 클래스 100(ISO 5)급 청정실에 적합하도록 특별히 설계된 것입니다. 왜냐하면 이 램프들은 전혀 오염을 일으키지 않기 때문입니다.
비결은 석영에 있습니다.
우리는 불순물이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 그래서 램프가 작동할 때 이온이나 미세 입자가 배출되지 않습니다. 일반 유리는 압력을 받으면 변형되지만, 이 석영은 극한의 온도에서도 견고함을 유지합니다. 따라서 진공 상태가 유지되고 가열 구역도 청결하게 유지됩니다.
스마트한 가열 방식으로 혼란을 줄입니다.
이 램프들은 집중된 단파장 IR 방사선을 사용합니다. 가장 좋은 점은 기판을 직접 가열할 수 있다는 것입니다. 공기나 기계 몸체를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않습니다.
이는 매우 중요합니다. 왜냐하면 그렇게 하면 성가신 대류 현상이 발생하지 않기 때문입니다. 공기를 너무 많이 가열하면 바닥의 먼지가 생산 구역으로 들어올 위험이 있습니다. 누구도 그런 상황을 원하지 않습니다.
자신의 설비에 맞는 정확한 와트수와 길이를 선택할 수 있습니다. 다만 주의할 점은, 이 램프들은 매우 작은 공간에서 엄청난 열을 발생시킨다는 것입니다. 고왓수 모델을 선택한다면, 쿨링 시스템이 그 열을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프 소켓이 손상될 수 있습니다.
작은 부분도 중요합니다.
우리는 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용합니다. 연결이 느슨하면 문제가 생깁니다. 연결이 느슨해지면 아크가 발생하고, 그로 인해 금속 미세 입자가 생성됩니다. 반도체 엔지니어에게는 이는 정말 큰 문제입니다.
마지막으로, 이 램프들을 연결할 때는 반드시 먼지가 없는 장갑을 착용해야 합니다. 심각한 문제가 생길 수 있습니다. 단 하나의 지문만으로도 기름이 남을 수 있습니다. 램프가 열을 받으면 그 기름이 석영에 스며들어 “핫스폿”이 생기고, 그로 인해 램프가 너무 일찍 손상될 수 있습니다.
다행히도, 이 램프들은 대부분의 고급 반도체 생산 장비에 바로 교체할 수 있으므로, 설치하는 데 별다른 어려움이 없습니다.