空気を加熱するのはやめよう：より効果的なファブの運用方法
Industry 4.0に対応するスマートファブを構築する際、最初に捨て去るべきなのが、非効率な従来型の対流式加熱方式です。
代わりに、赤外線方式を使用します。なぜかというと、赤外線は対象物を直接加熱できるからです。基板を適切な温度に保つために、部屋全体の空気を温める必要はありません。これにより、エネルギーコストを削減し、クリーンルームの管理も容易になります。
実際に効果的な加熱方式
ほとんどの加熱素子は、単に熱を放出するだけで、何が起こっているかを把握できません。
私たちは異なる方法を採用しています。赤外線発信器をリアルタイムセンサーやPIDコントローラーと組み合わせて使います。これにより、ウェーハ全体にわたって正確な温度設定が可能になります。PLCがわずかな温度低下を検出すると、赤外線システムが瞬時に反応します。
非常に高速です。これこそが、データ駆動型の生産ラインを安定して運用するための唯一の方法です。
ハードウェアの側面
私たちは、高品質のステンレス鋼を使用してすべてを製造しています。これは見た目のためだけではありません。ガスの放出を防ぎ、微粒子が製品を損傷させるのを防ぐためです。
筐体自体も特別な仕様になっており、赤外線を対象物に向けて反射させるように設計されています。必要な場所に集中的に熱が届き、筐体の外側は触っても冷たく保たれます。
ただし、注意が必要です。このような高い出力では大量の熱が発生します。もし空調システムがその負荷に対応できなければ、温度警報が発生したり、最悪の場合は部品が変形してしまうこともあります。必ず冷却システムが十分に機能するようにしてください。
なぜこれが効果的なのか
省スペースの点を考えてみてください。赤外線システムは、巨大な硬化オーブンに比べて非常にコンパクトです。モジュール式の生産ラインに直接接続できます。
拡張が必要な場合は、単純にモジュールを追加すればよいのです。既存の加熱システムを壊して再構築する必要はありません。
さらに、部品を目標温度に到達させるのもずっと速くなります。このように温度を精密に制御できることで、大量生産時の厳しい tolerancesを満たすのもずっと簡単になります。