정말 중요한 곳에 더 많은 열을 공급하기
바이오센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼 표면에는 매우 정확한 양의 열이 필요하지만, 일반적인 적외선 램프들은 에너지를 여기저기로 퍼뜨립니다. 그 결과 대부분의 열은 벽에 반사되거나 공기 중으로 사라져버립니다. 이는 마치 전기 요금을 낭비하는 것과 같습니다.
우리는 이러한 낭비를 막을 방법을 찾아냈습니다. 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 모든 전력을 웨이퍼 표면에 직접 전달합니다.
왜 금일까요?
청초해 보이지만, 사실은 실용적인 선택입니다. 금은 적외선을 효과적으로 반사합니다. 알루미늄이나 광택 처리된 강철도 사용할 수 있지만, 이들은 너무 많은 에너지가 빠져나가게 합니다. 하우징에 얇은 금층을 추가함으로써, 원래 잘못된 방향으로 가는 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 돌려보낼 수 있습니다.
이렇게 하면 램프가 마치 레이저와 같은 열원이 됩니다. 웨이퍼 표면에 훨씬 더 집중된 에너지가 전달되지만, 전기 요금은 그대로입니다.
올바른 온도 유지하기
이 분야에서는 “충분히 가깝다”는 것으로는 부족합니다. 열이 고르지 않으면 웨이퍼가 변형되거나 화학적 결합이 제대로 이루어지지 않습니다. 정말 짜증나는 일입니다.
하지만 우리는 이 금 반사체의 형태를 조절함으로써, 빔이 정확히 어디에 닿는지 제어할 수 있습니다. 더 이상 웨이퍼의 중앙만 뜨거워지고 가장자리는 차가운 상태가 되는 문제는 없습니다. 가장자리를 따뜻하게 만들기 위해 크고 과도한 크기의 램프를 구입할 필요도 없습니다.
주의해야 할 점들
문제는, 그렇게 많은 에너지를 집중시키면 모든 것이 빠르게 뜨거워진다는 것입니다. 웨이퍼를 고정하는 클램프나 지지대도 이러한 강한 열에 견딜 수 있도록 확인해야 합니다. 또한, 냉각 시스템도 충분한 성능을 발휘해야 합니다. 그렇지 않으면 기타 부품들도 열을 많이 흡수하게 됩니다.
가장 좋은 점은, 이 제품들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 기존 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 에너지가 작업장이 아닌 제품 자체에 직접 전달되므로, 시작 시간도 훨씬 빨라집니다.