TEL (토쿄일렉트론) 히터 램프

생산 현장에서는, 포토레지스트를 건조할 때 0.5°C만의 온도 변화라도 회로선의 굵기에 나노미터 단위의 오차를 유발할 수 있습니다. 따라서 열 제어는 단순한 부가적인 기능이 아니라, 공정의 핵심적인 요소입니다. TEL 히터 램프는 바로 이러한 목적을 위해 설계된 것으...