LCD 패널 팹 라인에서 열 이동(thermal drift)은 회의에서 논의하는 추상적인 위험 요소가 아니다. 노광 후 라인 폭 변동, 베이크 후 포토레지스트 풋팅, 그리고 아침 리포트에 기록되는 수율 손실로 나타난다. 라인은 24시간 7일 가동되며, 라인이 멈추면...

제조 라인에서는 멈춤이 없다. 리소그래피 트랙, 코팅/베이크 모듈, 클리닝 셀은 모두 동기화되어 작동한다. 열 시스템이 조금이라도 변동하면, 포토레지스트 프로파일이 달라지고 CD 제어가 흐트러지며 수율에 영향을 준다. 클린룸 장비 업그레이드는 단순한 외관 개선이 아니...