IR 경화 과정에서 오존을 제거하는 방법
반도체를 제조할 때 가장 원치 않는 것은, 건조 과정으로 인해 웨이퍼가 손상되거나 클린룸이 위험한 환경이 되는 것입니다. 그래서 우리는 오존이 발생하지 않는 적외선(IR) 램프를 사용합니다. 이를 통해 누구나 번거로움 없이 친환경적이고 납이 없는 제품을 만들 수 있습니다.
오존이 문제인 이유
문제는, 일반적인 단파 적외선 램프는 185nm에서 254nm 범위의 방사선을 방출한다는 점입니다. 이 파장의 빛이 공기中的 산소와 반응하여 오존이 생성됩니다.
공장에서 오존은 큰 문제가 됩니다. 오존은 장비를 손상시킬 뿐만 아니라, 기계를 조작하는 사람들에게도 위험을 초래합니다. 아무나 이런 상황을 원하지 않습니다.
이 문제를 해결하기 위해 특수 코팅이나 도핑 처리가 된 석영관을 사용합니다. 이는 마치 VUV(진공 자외선) 스펙트럼을 필터링하는 것과 같습니다. 200nm보다 짧은 파장의 빛을 차단함으로써, 램프는 여전히 경화에 필요한 열을 공급하지만, 오존이 생성되는 화학 반응은 막아줍니다. 간단하죠.
이것이 당신에게 주는 이점
가장 좋은 점은, 공기 중의 오존을 제거하기 위해 크고 복잡한 배출 시스템이 필요 없다는 것입니다. 경화 장비의 크기도 줄어들고, 과도한 환기에 드는 에너지도 절약됩니다. 게다가, 이 램프는 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 부품 주변의 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하지 않고, 부품 자체를 직접 가열할 수 있습니다. 이것이 바로 이 방식이 친환경성이 높은 수지나 납이 없는 납땜제에 효과적인 이유입니다.
단, VUV 스펙트럼을 필터링하기 때문에 에너지 분포가 약간 변할 수 있습니다. 목표 온도에 도달하기 위해 컨베이어의 속도나 체류 시간을 조절해야 할 수도 있습니다. 고속 생산 라인을 운영할 경우, 모든 것이 정상적으로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다.
설치 방법
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 이미 IR 튜브를 사용하고 있다면, 이 램프들도 그대로 사용할 수 있습니다. 표준 산업용 전압으로 작동하므로, 기존의 컨트롤러에 연결해서 바로 사용할 수 있습니다.
한 가지 팁: 석영관을 깨끗하게 유지하세요. 유리 표면에 먼지가 쌓이면 과열이 발생할 수 있습니다. 그렇게 되면 필라멘트가 더 빨리 손상될 수 있습니다. 깨끗하게 유지하면 오래 사용할 수 있습니다.