Trên dây chuyền sản xuất có độ dài 300mm, lượng chất lỏng còn sót lại sau quá trình tạo hình các điểm tiếp xúc trên wafer không chỉ là nguyên nhân gây ô nhiễm mà còn là mối nguy tiềm ẩn đe dọa đến độ tin cậy của sản phẩm. Việc bay hơi chất lỏng không hoàn toàn khiến cho xuất hiện những khoảng trống và sự kết nối giữa các bộ phận trên wafer; điều này dẫn đến tỷ lệ sản phẩm hỏng tăng lên, trong khi chi phí năng lượng cũng tăng cao. Chúng tôi thiết kế hệ thống này để loại bỏ những yếu tố gây lãng phí ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng trong hoạt động của hệ thống
Hệ thống này sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số cao để làm bay hơi chất lỏng một cách nhanh chóng và kiểm soát được nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Các bộ phát nhiệt làm từ thạch anh mang lại nguồn nhiệt sạch, không chứa hạt bụi. Đường dẫn khí thải cũng được thiết kế sao cho phù hợp với môi trường làm việc trong phòng sạch loại 1–100, nhờ đó việc ô nhiễm không thể xảy ra trong buồng xử lý.
Khả năng lặp lại quy trình được đảm bảo qua từng chu kỳ xử lý – từ quy trình xử lý nhẹ đến quy trình xử lý mạnh. Hệ thống còn có khả năng kiểm soát chính xác nhiệt độ và thời gian xử lý. Lớp cách nhiệt bằng sợi carbon giúp giảm sự biến đổi nhiệt độ, đảm bảo nhiệt độ ổn định, ngay cả khi xử lý số lượng lớn sản phẩm.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong thực tế
Dù bạn đang thực hiện công việc sấy khô wafer, in ấn trên wafer hay đóng gói sản phẩm, yêu cầu vẫn là kiểm soát nhiệt độ một cách hiệu quả mà không làm giảm chất lượng sản phẩm. Hệ thống này có thể được tích hợp trực tiếp vào dây chuyền sản xuất, giúp loại bỏ chất lỏng còn sót lại một cách chính xác mà không làm hư hại các bộ phận dưới bề mặt wafer.
Quy trình xử lý chất cảm quang cũng được thực hiện một cách chính xác, quy trình làm sạch và sấy khô diễn ra nhanh chóng hơn, và số lần phải làm lại sản phẩm cũng giảm đi. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống vì hệ thống chỉ hoạt động khi cần thiết và duy trì nhiệt độ ổn định, giúp bạn có thể vận hành hệ thống 24/7 mà không cần phải bảo trì thường xuyên.
Những chi tiết cần chú ý
Kích thước của hệ thống khá nhỏ, nhưng bạn cần đảm bảo rằng các thiết bị liên quan được sắp xếp một cách chính xác: hệ thống thoát khí riêng biệt, không khí khô sạch, và nguồn điện ổn định. Thời gian lắp đặt khá ngắn, nhưng bạn cần điều chỉnh các thông số sao cho phù hợp với loại chất lỏng được sử dụng và cấu trúc của wafer.
Khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng cách, nguy cơ xuất hiện khoảng trống hoặc chất lỏng còn sót lại sẽ giảm đi. Chỉ cần chọn loại chất lỏng phù hợp, kết quả xử lý sẽ rất tốt.