
Bảo vệ các linh kiện khỏi nguy cơ cháy nổ khi làm nóng wafer trong môi trường dễ bốc cháy
Thành thật mà nói, việc làm nóng wafer trong khu vực có hóa chất dễ bốc cháy giống như việc chơi với lửa vậy. Khi có những hơi cháy bay lơ lửng trong không khí, một tia lửa nhỏ hay sự cố nhiệt độ cao không chỉ gây ra những sự cố kỹ thuật mà còn có thể dẫn đến thảm họa.
Để tránh điều này, chúng tôi đã từ bỏ việc sử dụng các loại đèn có cấu trúc mở. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các hệ thống hồng ngoại được bọc kín. Đây chính là cách để bảo vệ các linh kiện khỏi nguy cơ cháy nổ.
Bí quyết nằm ở lớp bảo vệ
Chúng tôi không để ống thủy tinh tự do trong không khí; điều đó sẽ gây ra nhiều rắc rối. Các đèn của chúng tôi được bọc trong lớp vỏ thủy tinh hoặc sapphire chất lượng cao. Đó chính là lớp bảo vệ giúp ngăn các sợi dây điện tiếp xúc với không khí. Điều này giúp ngăn các chất tẩy rửa ăn mòn vào bên trong đèn. Chúng tôi cũng sử dụng các lớp kín ở các điểm nối điện. Tại sao? Bởi vì nếu hóa chất xâm nhập vào dây điện, chúng sẽ nhanh chóng phá hủy dây điện đó.
Kiểm soát nhiệt độ và nguy cơ cháy nổ
Bạn không thể đặt một chiếc đèn hồng ngoại công suất cao ngay bên cạnh bình chứa hóa chất dễ bốc cháy. Điều đó sẽ gây ra vụ nổ. Chúng tôi xác định khoảng cách an toàn bằng cách xem xét cường độ ánh sáng của đèn và điểm cháy của các hóa chất được sử dụng. Bằng cách điều chỉnh tiêu cự và sử dụng các tấm phản xạ, chúng tôi có thể hướng nhiệt đến chính xác vị trí cần làm nóng – tức là wafer – đồng thời giữ cho phần còn lại của thiết bị luôn mát để tránh nguy cơ cháy nổ.
Sự hy sinh cần chấp nhận
Không có gì là hoàn hảo cả. Việc thêm lớp bảo vệ giữa nguồn nhiệt và wafer khiến hiệu suất của đèn giảm đi một chút. Bạn sẽ nhận thấy rằng hiệu suất của đèn không còn cao như trước nữa. Để bù đắp cho điều này, bạn có thể tăng công suất đèn lên hoặc để wafer tiếp xúc với nhiệt trong thời gian dài hơn một chút để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Cách lắp đặt đúng cách
Chúng tôi sử dụng các konektor chất lượng cao để ngăn chặn sự phóng điện. Nhưng yếu tố quan trọng nhất vẫn là hệ thống cách điện. Hãy đảm bảo rằng hệ thống cách điện của bạn hoàn toàn ổn định. Trong môi trường có hóa chất, hệ thống cách điện kém chất lượng sẽ gây ra nhiều rắc rối.
Một mẹo cuối cùng: hãy lắp thêm cặp nhiệt điện tử bên ngoài vỏ thiết bị. Đó chính là “lưới an toàn” giúp bảo vệ thiết bị khỏi nguy cơ cháy nổ. Hãy thiết lập sao cho khi vỏ thiết bị quá nóng, hệ thống sẽ tự động ngắt nguồn ngay lập tức. Tốt hơn là thiết bị tự động ngắt nguồn còn hơn là để xảy ra hỏa hoạn.