Trong quá trình xử lý, các tấm SiC không thể hoạt động tốt với những bảng nhiệt thông thường. Việc nung ở nhiệt độ thấp, nhiệt độ cao, hay việc xử lý sau khi phủ lớp chất cách điện đều đòi hỏi nguồn nhiệt được cung cấp một cách nhanh chóng và đồng đều, mà không làm cho tấm SiC vượt quá giới hạn nhiệt độ cho phép. Khi độ đồng đều của nhiệt độ bị suy giảm, sẽ xuất hiện các vấn đề như biến dạng bề mặt tấm SiC, và kết quả sản xuất cũng sẽ bị ảnh hưởng, và những vấn đề này chỉ được phát hiện sau nhiều giờ kiểm tra.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng loại đèn sưởi dành cho tấm SiC, hoạt động dựa trên sóng hồng ngoại ngắn波 để truyền nhiệt trực tiếp vào vùng cần xử lý – tức là bề mặt tấm SiC – mà không làm nóng các bộ phận khác trong buồng xử lý. Thời gian phản ứng của đèn chỉ khoảng vài giây, và độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt tấm SiC đạt mức ±0,1°C. Điều này giúp kiểm soát chính xác kích thước của tấm SiC, từ đó đảm bảo tính lặp lại của quy trình xử lý sau khi in ấn.
Đèn này có thể được lắp đặt trong các phòng sạch cấp độ 1–100. Thiết kế của đèn giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, và đường truyền ánh sáng được niêm phong kỹ lưỡng để ngăn chặn sự ô nhiễm. Hiệu suất của đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức giảm hiệu suất dưới 5%. Vì vậy, bạn có thể vận hành đèn 24/7 mà không lo về việc máy phải ngừng hoạt động do lỗi kỹ thuật.
Tại sao phương pháp này hiệu quả với SiC Quy trình xử lý SiC rất khắt khe: độ dẫn nhiệt cao, lớp phim mỏng, và các giới hạn về nhiệt độ khiến việc mắc sai lầm trở thành điều không thể chấp nhận được. Phương pháp sưởi bằng hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian xử lý, vì năng lượng được truyền trực tiếp, chứ không qua con đường dẫn nhiệt. Điều này giúp giảm thời gian chờ đợi giữa các bước xử lý, đồng thời tránh việc sử dụng nhiều năng lượng để làm nóng bảng nhiệt thông thường.
Đối với quy trình nung ở nhiệt độ thấp, đèn giúp loại bỏ nhanh chóng chất dung môi, đồng thời kiểm soát nhiệt độ bề mặt tấm SiC. Đối với quy trình nung ở nhiệt độ cao, đèn giúp kết nối các lớp chất cách điện mà không làm nóng các lớp phía dưới. Kết quả là quy trình xử lý diễn ra nhanh hơn, độ chính xác cao hơn, và số lượng sản phẩm bị hỏng giảm đi.
Những điều bạn cần biết trước khi sử dụng Việc lắp đặt đèn đòi hỏi phải điều chỉnh đúng khoảng cách giữa đèn và bề mặt tấm SiC, cũng như hình dạng của chùm sáng. Đèn này được thiết kế dành cho tấm SiC có kích thước 150 mm và 200 mm; nếu bạn sử dụng tấm SiC có kích thước 300 mm, thì cần điều chỉnh lại thiết bị chiếu sáng và hệ thống kiểm soát nhiệt độ cho phù hợp với kích thước lớn hơn này.
Bạn cần thực hiện một vài bước để điều chỉnh mật độ năng lượng và thời gian xử lý phù hợp với loại chất cách điện mà bạn sử dụng. Một khi đã điều chỉnh xong, quy trình xử lý sẽ có tính lặp lại cao. Tuy nhiên, việc điều chỉnh ban đầu vẫn là một phần quan trọng trong quy trình lắp đặt.