Hentikan Pemanasan Berlebih pada Alat-Alat Anda
Pernahkah Anda memperhatikan bagaimana cara pemanasan menggunakan sinar inframerah biasa justru membuat segalanya menjadi terlalu panas? Seperti mencoba menyalakan lilin menggunakan alat pemancar api. Anda ingin agar wafer menjadi panas, tetapi malah seluruh ruang vakum menyerap energi panas tersebut.
“Panas yang berlebihan” ini merupakan masalah serius. Panas tersebut akan membuat bagian-bagian alat yang mahal tersebut menjadi semacam “penyimpan panas”, sehingga menyebabkan perubahan suhu yang tidak diinginkan. Yang paling buruk, ada risiko seseorang terluka akibat panas yang berlebihan di area kerja.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: pemanasan yang terarah.
Cara Kerjanya
Alih-alih memancarkan panas ke segala arah, kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi dan reflektor yang akurat. Bayangkan saja, hal ini sama seperti beralih dari penggunaan lampu biasa ke laser. Energi panas dikirim langsung ke permukaan wafer.
Hasilnya? Dinding-dinding ruang vakum tetap dingin. Anda tetap mendapatkan kecepatan pemanasan yang cepat yang diperlukan untuk proses RTP, tetapi bagian-bagian alat tidak akan terlalu panas.
Kelebihan dan Kekurangan
Kami menggunakan tabung kuarsa berdaya tinggi, karena tabung tersebut mampu menghasilkan panas yang sangat besar. Tabung-tabung ini dirancang untuk menghasilkan densitas daya yang tinggi, sehingga wafer dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam waktu singkat.
Namun, Anda perlu memperhatikan sistem pendinginan Anda. Karena sinar panas yang dipancarkan sangat terfokus, maka fluks panas di titik fokus akan sangat tinggi. Jika sistem pendinginan tidak mampu mengatasi beban panas tersebut, maka akan timbul titik-titik panas di permukaan wafer. Ini merupakan kompromi yang harus diterima, tetapi mudah diatasi jika spesifikasinya sesuai.
Membuat Lingkungan Kerja Lebih Aman
Ketika dinding-dinding ruang vakum tidak lagi menyerap panas berlebih, bagian luar mesin akan tetap dingin saat disentuh. Ini merupakan keuntungan besar bagi orang-orang yang memasukkan alat-alat ke dalam mesin atau yang melakukan perawatan. Tidak perlu lagi menghindari permukaan yang panas.
Selain itu, sekering dan komponen lainnya juga akan bertahan lebih lama. Biasanya, komponen-komponen ini rusak lebih cepat karena terus-menerus terpapar panas. Sekarang, komponen-komponen tersebut dapat berfungsi dengan baik.
Yang terbaik adalah bahwa komponen-komponen ini dapat digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda hanya perlu menghubungkannya ke kontroler yang sudah ada, dan selesai. Sangat sederhana.