Pada lini produksi berukuran 300 mm, sisa fluks setelah proses pembentukan “bump” pada wafer bukan sekadar kontaminan biasa. Sisa fluks tersebut merupakan ancaman terhadap kualitas produk, yang bisa menyebabkan kerusakan pada komponen elektronik.
Proses penguapan fluks yang tidak sempurna akan menyebabkan adanya rongga dan hubungan antar bagian-bagian wafer. Hal ini akan meningkatkan tingkat limbah yang dihasilkan, sekaligus membuat beban termal melebihi batas yang ditentukan. Kami merancang sistem ini untuk menghilangkan masalah-masalah tersebut sejak awal.
Apa yang benar-benar penting dalam sistem ini? Sistem ini mampu melakukan penguapan fluks secara cepat dan terkendali, menggunakan gelombang inframerah pendek. Sistem ini juga mampu menjaga keseragaman suhu hingga ±0,1°C di seluruh permukaan wafer. Emitter berbahan kuarsa digunakan untuk menghasilkan panas yang bersih, tanpa partikel pengganggu. Saluran pembuangan udara juga dirancang agar sesuai dengan standar ruang bersih kelas 1–100, sehingga tidak ada risiko kontaminasi.
Repetibilitas proses pun terjaga dengan baik, mulai dari proses pemanasan ringan hingga pemanasan intensif. Sistem ini juga memiliki kontrol yang tepat terhadap suhu dan waktu proses. Insulasi berbahan serat karbon membantu menjaga stabilitas suhu, sehingga proses produksi dapat berjalan lancar, bahkan saat volume produksi tinggi.
Mengapa sistem ini efektif dalam proses produksi nyata? Baik itu proses pengeringan wafer, litografi, maupun pengolahannya, syaratnya tetap sama: kontrol termal yang efektif tanpa mengorbankan kualitas produk. Sistem ini dapat langsung digunakan dalam proses produksi, dengan kemampuan untuk menghilangkan sisa fluks secara tepat, tanpa merusak lapisan logam di bawahnya.
Proses pemrosesan fotoresist juga tetap berkualitas, proses pembersihan dan pengeringan pun berlangsung lebih cepat. Dengan demikian, jumlah produk yang perlu diperbaiki pun berkurang. Penggunaan energi juga berkurang, karena sistem ini hanya memanaskan diri sesuai kebutuhan, sehingga dapat beroperasi 24/7 dengan jadwal perawatan yang terencana.
Detil praktis yang perlu diperhatikan: Ukuran sistem ini cukup kompak, tetapi diperlukan penyesuaian yang tepat terhadap fasilitas pendukungnya: saluran pembuangan udara yang efektif, udara kering yang bersih, serta tegangan listrik yang stabil. Proses penyetelan sistem membutuhkan waktu yang singkat, tetapi diperlukan penyesuaian agar sistem dapat berfungsi optimal sesuai dengan jenis fluks dan tumpukan wafer yang digunakan.
Setelah semuanya disetel dengan benar, risiko adanya rongga atau sisa fluks akan berkurang. Dengan memilih fluks yang sesuai, hasil produksi akan menjadi lebih baik.