अपने वेफर उपकरणों को अत्यधिक गर्म होने से बचाएं
क्या आपने कभी ध्यान दिया है कि सामान्य इन्फ्रारेड हीटिंग प्रणाली सब कुछ को गर्म कर देती है? यह तो ऐसा ही है, जैसे कि किसी मोमबत्ती को फ्लेमथ्रोवर से जलाने की कोशिश करना। आप तो वेफर को गर्म करना चाहते हैं, लेकिन इसके बजाय पूरा वैक्यूम चैंबर ही उस ऊर्जा को अवशोषित कर लेता है।
यह “अतिरिक्त ऊष्मा” वाकई एक समस्या है। यह आपके महंगे उपकरणों को गर्म होने पर मजबूर कर देती है, जिससे उपकरणों की कार्यक्षमता प्रभावित होती है… और सबसे खराब बात यह है कि कार्यस्थल पर किसी के घायल होने का खतरा भी रहता है।
हमने इसका बेहतर उपाय खोज लिया है – दिशात्मक हीटिंग।
यह कैसे काम करता है?
हम हर दिशा में ऊष्मा भेजने के बजाय, छोटी-तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड लैंपों एवं सटीक रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। इसे ऐसे समझें – जैसे कि सामान्य बल्ब के बजाय लेजर का उपयोग करना। हम ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह पर ही भेजते हैं।
परिणाम? चैंबर की दीवारें ठंडी ही रहती हैं। आपको RTP के लिए आवश्यक तेज गति तो मिलती ही है, लेकिन उपकरणों को नुकसान नहीं पहुँचता।
विवरण एवं संतुलन
हम उच्च-वॉटेज वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं, क्योंकि ये अधिक ऊर्जा उत्पन्न करते हैं। ये उच्च ऊर्जा-घनत्व हेतु डिज़ाइन किए गए हैं, इसलिए वेफर का तापमान कुछ ही सेकंडों में ही वांछित स्तर तक पहुँच जाता है।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि आपको अपनी शीतलन प्रणाली पर भी ध्यान देना होगा। चूँकि ऊर्जा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए फोकल बिंदु पर ऊष्मा-प्रवाह बहुत ही अधिक होता है। यदि आपकी शीतलन प्रणाली इस अधिक ऊष्मा को संभाल नहीं पाती, तो वेफर पर गर्म स्थान बन जाते हैं। यह एक संतुलन है… लेकिन यदि आपके उपकरणों की विशेषताएँ सही हैं, तो इसे आसानी से संभाला जा सकता है।
कार्यस्थल को अधिक सुरक्षित बनाना
जब दीवारें अतिरिक्त ऊष्मा को अवशोषित नहीं करतीं, तो मशीन का बाहरी हिस्सा भी ठंडा ही रहता है। यह उन लोगों के लिए बहुत ही फायदेमंद है, जो उपकरणों को लोड करते हैं या उनकी देखभाल करते हैं… अब उन्हें गर्म सतहों से बचने की आवश्यकता ही नहीं है।
इसके अलावा, आपके सील एवं गैस्केट भी लंबे समय तक काम कर पाते हैं… क्योंकि अब वे अप्रत्यक्ष ऊष्मा के कारण जलते नहीं हैं।
सबसे अच्छी बात यह है कि ये उपकरण आसानी से ही उपयोग में लाए जा सकते हैं… आप बस इन्हें अपने मौजूदा कंट्रोलरों से जोड़ दें… और आपके उपकरणों का तापमान नियंत्रण में ही रहेगा। बहुत ही आसान!