वास्तव में, SiC वेफरों को सामान्य हीटप्लेटों के साथ इस्तेमाल करना संभव नहीं है। “सॉफ्ट बेक”, “हार्ड बेक” एवं “पोस्ट-एप्लाई क्यूर” जैसी प्रक्रियाओं हेतु ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो तेज़ी से एवं समान रूप से प्रदान हो, ताकि वेफर का तापमान उसकी सहन-क्षमता से अधिक न बढ़े। यदि तापमान में असमानता हो जाती है, तो वेफर की सतह पर दोष पैदा हो जाते हैं, एवं इसका पता कई घंटों बाद ही चलता है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम SiC वेफरों के उपचार हेतु ऐसे हीटरों का उपयोग करते हैं, जो शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करके ऊष्मा को सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचाते हैं… बिना कैरियरों या चैंबर की दीवारों को गर्म किए। इसकी प्रतिक्रिया सेकंडों में ही हो जाती है, एवं वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। इससे वेफर के आकार/आकृति में स्थिरता बनी रहती है, एवं लिथोग्राफी के बाद भी वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है।
ये हीटर्स क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में आसानी से इस्तेमाल किए जा सकते हैं। इनसे कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता, एवं सील्ड ऑप्टिकल पथ के कारण संदूषण भी नहीं होता। 5,000+ घंटों तक इनका आउटपुट स्थिर रहता है… केवल 5% की ही कमी होती है। इसलिए इन्हें 24/7 भी इस्तेमाल किया जा सकता है।
SiC के लिए यह विधि क्यों कारगर है?
SiC के उपचार हेतु उच्च तापीय चालकता, पतली फिल्में, एवं सटीक तापमान नियंत्रण आवश्यक है… क्योंकि यहाँ त्रुटियों की कोई गुंजाइश ही नहीं है। इन्फ्रारेड ऊष्मा से बेकिंग/क्यूरिंग प्रक्रियाएँ तेज़ हो जाती हैं… क्योंकि ऊर्जा सीधे ही वेफर तक पहुँचती है। इससे कोटिंग लगाने एवं उसे �expose करने में लगने वाला समय कम हो जाता है… एवं बड़ी हीटप्लेटों की आवश्यकता भी नहीं पड़ती।
“सॉफ्ट बेक” हेतु, यह हीटर तेज़ी से विलायक को सुखा देता है… एवं सतह का तापमान नियंत्रित रखता है… ताकि वेफर की सतह पर कोई नुकसान न हो। “हार्ड बेक” एवं “क्यूर” हेतु, यह हीटर रेजिस्ट को क्रॉसलिंक कर देता है… बिना नीचे की परतों को अत्यधिक गर्म किए। इससे प्रक्रिया तेज़ हो जाती है… एवं अपशिष्ट उत्पादों की मात्रा भी कम हो जाती है।
शुरुआत में क्या जानना आवश्यक है?
इस हीटर को इस्तेमाल करने हेतु, वेफर की आकृति के अनुसार ऑप्टिकल सेटअप को सही रखना आवश्यक है। यह हीटर 150 मिमी एवं 200 मिमी आकार के SiC वेफरों हेतु ही उपयुक्त है… यदि आप 300 मिमी आकार के वेफरों का उपयोग कर रहे हैं, तो ऑप्टिक्स एवं ज़ोन कंट्रोल को बड़े क्षेत्र के अनुसार ही सेट करना होगा।
अपने विशिष्ट वेफरों हेतु पावर डेंसिटी एवं ड्वेल टाइम को सही रखने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… लेकिन एक बार ऐसा हो जाने के बाद, प्रक्रिया दोहराई जा सकती है… लेकिन शुरुआती सेटअप तो आवश्यक ही है।