निकॉन स्टेपर लैंप प्रतिस्थापन

लिथोग्राफी फ़्लोर पर, सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक स्टेप्स प्रत्येक वेफर के लिए थर्मल बजट निर्धारित करते हैं। एक लैंप जो थोड़ी भी भटकता है, फोटोरेसिस्ट...