MEMS वेफरों को सही तरीके से सुखाना
जब आप MEMS सेंसरों का उत्पादन कर रहे होते हैं, तो उनमें मौजूद नमी को दूर करना एक कठिन कार्य होता है। वेफर को सूखा रखना आवश्यक है, लेकिन इसके लिए उस पर अत्यधिक ऊष्मा नहीं लगानी चाहिए; वरना सब्सट्रेट विकृत हो सकता है, या अवशेष भी बच सकते हैं।
यहीं पर हमारे इन्फ्रारेड ड्रायिंग हीटर्स की भूमिका आती है। हम उच्च-तीव्रता वाले क्वार्ट्ज लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंप कुछ ही सेकंड में वेफर की सतह को सूखा देते हैं। यह बहुत ही तेज़ प्रक्रिया है।
ऊर्जा एवं ऊष्मा का संतुलन
दरअसल, आप बस ऊर्जा की मात्रा बढ़ाकर अच्छे परिणामों की उम्मीद नहीं कर सकते। ऐसा करने से वेफरों पर गर्म बिंदु बन जाएंगे, जिससे वेफर खराब हो जाएंगे।
हम चैंबर के आकार के आधार पर उचित वॉटेज एवं वोल्टेज का चयन करने में बहुत समय लगाते हैं। निश्चित रूप से, उच्च वॉटेज से उत्पादन दर बढ़ जाती है, लेकिन इससे पावर सप्लाई पर बहुत दबाव पड़ता है। सतह का तापमान उचित स्तर पर रखने हेतु लैंपों की दूरी एवं ड्यूटी साइकल को ठीक से समायोजित करना आवश्यक है।
उपकरणों की विशेषताएँ
हम लैंपों के लिए उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि हम नहीं चाहते कि किसी भी तरह के दूषक तत्व हमारे क्लीनरूम में पहुँचें।
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का भी उपयोग करते हैं। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें नमी को लंब-वेव तरंगों की तुलना में बेहतर तरीके से दूर करती हैं। चूँकि ये लैंप लगातार चालू-बंद होते रहते हैं, इसलिए हम इनमें मजबूत कनेक्टरों का उपयोग करते हैं, ताकि वे कुछ ही हफ्तों में खराब न हो जाएं।
वास्तविक दुनिया में उपयोग
ईमानदारी से कहें तो, इन हीटरों को MEMS उत्पादन प्रक्रिया में उपयोग में लाना इतना आसान नहीं है। ऊष्मा की मात्रा बहुत अधिक होती है। यदि आपके पास ठोस कूलिंग सिस्टम न हो, तो वह ऊष्मा आपके उपकरणों को नुकसान पहुँचा सकती है। जब आसपास के इलेक्ट्रॉनिक उपकरण ओवरहीट हो जाते हैं, तो यह एक गंभीर समस्या बन जाती है।
कुछ सुझाव: लैंपों के लिए “ड्रॉप-इन रिप्लेसमेंट” व्यवस्था का उपयोग करें। ऐसा करने से रखरखाव आसान हो जाता है, एवं उत्पादन में व्यवधान भी कम हो जाता है। इसके अलावा, पूरे बैच को उत्पादित करने से पहले हमेशा पाइरोमीटर का उपयोग करके सतह का तापमान जाँचें। यह एक छोटा सा कदम है, लेकिन इससे बहुत सारा सिलिकॉन बच जाता है।