अपने उपकरणों को गर्म करना बंद करें… बल्कि वेफरों को ही गर्म करें।
यदि आपने कभी सामान्य प्रतिरोधी ऊष्मा-व्यवस्थाओं का उपयोग किया है, तो आपको पता ही होगा कि ऐसी स्थितियों में वेफर को गर्म करने के चक्कर में पूरा आंतरिक कक्ष ही गर्म हो जाता है। यह ऊर्जा की बर्बादी है… और वास्तव में, यह बहुत ही परेशान करने वाली बात है। किसी को भी ऐसे उपकरणों के साथ काम करना पसंद नहीं होता, क्योंकि उनकी दीवारें छूने पर बहुत गर्म हो जाती हैं।
हमें लगा कि इसका कोई बेहतर तरीका होना चाहिए। इसलिए हमने दिशात्मक इंफ्रारेड लैंपों का उपयोग किया।
इन लैंपों की खासियत यह है कि ये विद्युत-चुम्बकीय विकिरणों को सीधे वेफर पर ही भेजते हैं। चूँकि हम छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इंफ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, इसलिए ऊर्जा आसपास की हवा को नजरअंदाज करके सीधे वेफर में ही जाती है। परिणामस्वरूप, वेफर को आवश्यक ऊष्मा मिल जाती है, जबकि मशीन की बाहरी सतह ठंडी ही रहती है।
विस्तार से…
हम यहाँ सस्ते काँच का उपयोग नहीं करते। इन लैंपों को उच्च-घनत्व वाले क्वार्ट्ज से ढका जाता है, ताकि तापमान में तेजी से बदलाव होने पर भी ये न टूटें।
और भी बेहतर परिणाम प्राप्त करने हेतु, हम फोकल लंबाई को समायोजित करते हैं, एवं परावर्तक सतह भी जोड़ते हैं। इससे ऊष्मा सीधे वेफर पर ही केंद्रित हो जाती है… और अन्य क्षेत्रों में ऊष्मा नहीं जाती।
हार्डवेयर संबंधी जानकारी: हम विशेष कनेक्टरों का उपयोग करते हैं, ताकि तेज झटकों के बावजूद भी सब कुछ ठीक से जुड़ा रहे। यदि आप इन लैंपों को पुरानी प्रणालियों में लगा रहे हैं, तो अवश्य ही वोल्टेज की जाँच कर लें। उच्च-वाटेज वाले लैंपों से लक्षित तापमान बहुत जल्दी ही प्राप्त हो जाता है… लेकिन ऐसे लैंपों से बिजली-�पूर्ति पर भार पड़ सकता है।
सीमाएँ…
यह कोई जादू तो नहीं है… कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है।
सबसे बड़ी समस्या तो एकरूपता ही है… चूँकि ऊष्मा सीधे वेफर पर ही पड़ती है, इसलिए लैंप की स्थिति बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि लैंप की स्थिति कुछ मिलीमीटर भी गलत हो जाए, तो वेफर पर तापमान-अंतर हो जाता है। इसलिए लैंप की स्थिति एवं परावर्तक सतह के कोण को सही रखना आवश्यक है।
और वेंटिलेशन के बारे में भी ध्यान रखें… भले ही मशीन की दीवारें ठंडी ही रहें, लेकिन वेफर पर तो ऊष्मा ही पड़ रही है। यदि आपकी वैक्यूम प्रणाली उचित न हो, तो चिपकने वाले पदार्थों/अशुद्धियों से गैसें निकल सकती हैं। इसलिए अवश्य ही यह सुनिश्चित करें कि आपकी वैक्यूम प्रणाली आपके लक्षित तापमान को संभाल सके।