במחלקת הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האדיה של הפוטורזיסט מספיק כדי להפוך את כל החומרים לחסרי ערך. ייבוש הוופר משתבש ברגע שהפרופיל התרמי אינו יכול לשמור על עקביות בכל שטח הוופר. פיתחנו גופי חימום לחצאי-מוליכים המופעלים על ידי בקר PID, כדי למנוע את אותה חוסר עקביות. הבקרה מתבצעת באמצעות טכנולוגיית אינפרא-אדום, כך שניתן לשמור על עקביות תרמית ברמת הוופר.
מה חשוב באמת? אנו משלבים גוף פלט אינפרא-אדום בעל תגובה מהירה עם בקר PID בעל רזולוציה גבוהה, כך שניתן לשמור על טמפרטורה קבועה של ±0.1°C. דבר זה מאפשר עקביות בתהליכי האדיה, וכן עקביות בין הוופרים השונים – מה שמאפשר שליטה טובה בממדים החשובים של החומרים. המערכת מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והעיצוב שלה מונע ייצור של חלקיקים זרים, על ידי הימנעות משימוש בחוטים חמים חשופים והגבלת הטורבולנציה. הבקר אוגר מספר תצורות של התהליך, ומתעד את עקומות הטמפרטורה – דבר שמאפשר בקרה קלה וללא צורך בעבודה נוספת.
למה זה חשוב בליתוגרפיה ובייבוש? בליתוגרפיה, יש צורך באדיה עקבית כדי לשלוט בצמיגות הפוטורזיסט ולמנוע את יצירת חומרים לא רצויים. בייבוש הוופר, יש צורך בחום מבוקר כדי להסיר חומרי ניקוי ולמנוע הצטברותם שוב. הגישה שלנו עם בקר PID מאפשרת עקביות בתהליך, כך שזמני העיבוד קצרים יותר, וכמות החומרים החסרי ערך פוחתת. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחום נוצר רק כשיש צורך בו, והמערכת פועלת באופן רציף, ללא זמני עצירה בלתי צפויים.
ההגדרות החיוניות שאי אפשר להתעלם מהן גופי החימום באמצעות אינפרא-אדום דורשים תיאום מדויק ומסלול אופטי נקי כדי לשמור על יציבות. יש לתכנן זמן התקנה קצר, כדי להתאים את פרמטרי הבקר PID לעומס האמיתי ולמסה התרמית של הוופר. יש גם לוודא שהממשק של הכלי תואם לחיבורים של גופי החימום. לאחר ההתאמה, המערכת תפעל כראוי – אך שלב ההגדרות הזה הוא הכרחי.