בתהליך ייצור הסוללות בטכנולוגיית המצב המוצק, יש צורך בבקרה תרמית מדויקת, באותה מידה כמו הדרישות הקפדניות לאיכות השבבים. כל סטייה קטנה בטמפרטורה עלולה לפגוע באיכות הסוללה, ולגרום לחסרונות בשכבות האינטרפייס. לכן, יש צורך במערכת חימום שתאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה בכל שלב של התהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלי קצר, יחד עם גלאים מסוג קוורץ, כדי להעביר חום ישירות לשבב. באזור הפעיל, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.5°C. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים, ואנו בודקים זאת באופן תדיר. פרופילי הפוטורזיסט נשארים קבועים לאורך כל שלבי התהליך, והשליטה בטמפרטורה נעשית בדיוק של מילישניות – ללא סטיות.
למה זה חשוב בייצור סוללות בטכנולוגיית המצב המוצק? בתהליך זה, ישנם שלבים רבים שצריך לבצע ברצף: ייבוש השבב, טיפול בפוטורזיסט, ואישור השכבות האינטרפייס. קרינת האינפרא-אדום מקצרת את זמן התהליך, והבקרה האוטומטית שומרת על הממדים החשובים בטווח הרצוי. כך ניתן לשלוט בצורה טובה יותר בממדים של הסוללה, להפחית את מספר התיקונים, ולחסוך באנרגיה – שכן האנרגיה מושקעת בשבב עצמו, ולא בחדר הייצור. כך ניתן לצפות את תוצאות התהליך בצורה מדויקת.
מה כדאי לדעת מראש? האינטגרציה של המערכת פשוטה, אך יש צורך לקבוע בדיוק את המרחק בין הגלאים לשבב – האחידות של הטמפרטורה תלויה בכך. יש צורך בתקופת התאמה קצרה כדי לכוונן את זמני הפעולה של המערכת. הגלאים מיועדים לפעולה של 5,000 שעות לפחות, עם סטיות מינימליות באופן הפעולה שלהם. אנו מבצעים כיול תקופתי כל 2,000 שעות, כדי לשמור על אחידות הטמפרטורה.