בחדר הייצור, הטמפרטורה של תנור החמצון קובעת את הסטנדרט לשמירה על איכות האוקסיד בכל שטח הוופר. שינוי של 1°C בלבד יכול להפוך מוצר איכותי לפסולת. עיצבנו את רכיב החימום של תנור החמצון כך שיאפשר שמירה על יציבות זו.
מה חשוב מבחינה טכנית? הלב של העיצוב הוא שרשרת של נורות קוורץ-הלוגן, שמזרימות אנרגיה בגלי אור קצרים ישירות לתוך הוופר. דבר זה מאפשר יציבות טמפרטורית של ±0.1°C בכל אזור העיבוד.
ברמות של פחות מ-10 ננומטר, אי אפשר להתפשר על דבר זה. איכות הפוטורזיסט ורמת האפקטיביות של תהליך החריטה תלויים לחלוטין בדיוק של תהליך החימום. רכיב זה שומר על יציבות זו לאורך זמן, 24/7, ואינו יוצר שום חלקיקים – דבר שאושר בתנאי חדר נקי מסוג Class 1.
למה זה עובד בייצור? זה פותר את בעיית הירידה באיכות המוצר בתהליכי ליתוגרפיה וחריטה. כאשר פרופילי הטמפרטורה עקביים וניתן לחזות אותם, עובי הפוטורזיסט נשאר אחיד לאחר תהליך החימום, וכך אין בעיות של חוסר אחידות בקצוות הקווים בעת החריטה.
התוצאה היא פחות עבודות תיקון ועלייה בכמות הוופרים שניתן לייצר לכל מסכה. בנוסף, יש שיפור ביעילות האנרגטית, מה שמפחית את עלויות התפעול מבלי לפגוע בקצב הייצור.
מה צריך לקחת בחשבון? הרכיב יכול להתחבר לתנורים הקיימים, אך הוא דורש מקור אנרגיה וממשק שליטה ייעודיים כדי לתפקד כראוי. פרופיל הגלים הקצרים מתאים מאוד לעיבוד תרמי מהיר, אך יש צורך בהתאמה מדויקת לוופר – אי-התאמה עלולה לגרום לאזורים חמים באזורים מסוימים.
אנו עורכים בדיקות בשטח כדי להתאים את פרופיל הטמפרטורה לתהליך הייצור הספציפי שלכם, כך שהביצועים יהיו עקביים מלוט ללוט.