על רצפת המפעל, וופרת 300 mm מונחת על הקו, ממתינה לאפיית רכה שמייצבת את פרופיל הפוטורזיסט. אם הפלטה החמה מתנדנדת אפילו במעט, בקרת רוחב הקו מתערערת וכל המשטח עלול להפוך לגרוטאות. בנינו את מנורות החימום של XRD כדי למנוע את השונות הזו.
מה חשוב, מבחינה טכנית
המנורות פועלות באינפרא-אדום גל קצר עם אלמנטים של הלוגן קוורץ, ומעבירות חום ישירות לאזור הנדרש. אחידות הטמפרטורה על פני הוופרה נשמרת בטווח של ±0.1°C, וחזרתיות נקודת ההגדרה נשמרת מדויקת בכל ריצה. הן פועלות בחדרי נקיון Class 1–100, ובמהלך הפעולה ייצור חלקיקים נמוך מ-0.1 חלקיקים/cm³. הפלט נשאר יציב במשך מעל 5,000 שעות, עם סטייה בעוצמה מתחת ל-5%.
מדוע זה עובד בליתוגרפיה
אפיית הרכה היא השלב שבו מפנים את הממסים ומגדירים את הלחץ בממברנה. אפיית הקשה לאחר מכן מקבעת את הפרופיל המוקשה לשלב החיתוך וההשתלה. מנורות אלה מגיעות לטמפרטורה במהירות, מקצרות את האפייה ושומרות על תקציב תרמי נקי. התוצאה היא ביצוע עקבי של מימדי קריטיים, פחות תיקונים וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל וופרה.
וכאשר מייבשים וופרות לאחר ניקוי, אותו בקר שומר על מניעת התעבות מחדש וסימני מים, וכך התפוקה נשארת גבוהה.
מה יש לזכור
המנורות קומפקטיות ומתאימות לרוב מודולי מסלול ומצופה, אך האינטגרציה דורשת תשומת לב. יש לבדוק את ניקיון מסלול האור, לוודא שהספק הכוח יציב ולוודא את מסלול הפליטה של החומרים המתנדפים.
קיימת התחממות קצרה עד הגעה לנקודת ההגדרה—יש לתכנן את מתכוני האפייה בהתאם למהלך זה. לאחר כיול ויישור מדויקים, חלון התהליך נפתח ללא הוספת מורכבות נוספת.