Beendigung des Kontaminationsproblems bei der Trocknung in der Fertigungsstätte
Wenn Sie eine Reinraumumgebung der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, wie problematisch das sein kann: Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass die Qualität der Wafers stark abnimmt. Das ist frustrierend. Die meisten Heizelemente sind schuld daran – sie geben Gase ab oder lösen kleine Partikel ab, gerade dann, wenn sie stabil sein sollten.
Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarz für unsere IR-Lampen umgestellt. Dadurch wird dieses Problem vermieden.
Warum das funktioniert
Bei herkömmlichem Glas kommt es dazu, dass es bei hoher Temperatur zerfällt oder mikroskopisch kleine Partikel freisetzt. Wir verwenden daher hochreinen Quarz – dieser bleibt auch bei extremen Temperaturen stabil. Zudem haben wir alle unnötigen Materialien entfernt: keine Klebstoffe, keine organischen Beschichtungen – nichts, was während der ersten Betriebszyklen verbrennt und den Prozess stört.
Außerdem nutzen wir kurzwelliges Infrarotlicht. Anstatt die Luft um das Wafer zu erwärmen, gelangt die Wärme direkt ins Substrat. Dadurch entstehen weniger heiße Luftströmungen, was wiederum dazu führt, dass weniger Partikel aufgewirbelt werden. Einfach.
Die technischen Details
Wir kennen alle diese billigen IR-Röhren, die schnell ausfallen. Das ist ärgerlich. Um das zu vermeiden, stellen wir die Zusammensetzung des Halogens sowie die Wandstärke des Quarzes genau ein. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht zwischen ausreichender Wärmeabgabe und Langlebigkeit der Lampe.
Aber ein Rat: Achten Sie auf die Leistdichte. Wenn Sie eine Lampe mit hohem Leistungswert in einen kleinen Raum setzen, belasten Sie die Halterungen enorm. Wenn die Kühlung nicht ausreicht, kann das Gehäuse deformieren.
Einbau in die Fertigungsstätte
Diese Lampen sind als Ersatzteile konzipiert. Sie müssen den gesamten Trocknungsmodul nicht neu erstellen – sie passen einfach hinein. Wir verwenden präzise gefertigte Endkappen, damit alles gasdicht bleibt und der Faden innerhalb der Lampe nicht oxidiert.
Das Ergebnis? Eine saubere, trockene Wärmequelle. Keine Metallionen, kein Kohlenstoffrest – keine Überraschungen. Für Ingenieure, die es satt haben, mit plötzlichen Kontaminationsproblemen während der Trocknungsphase zu kämpfen, ist das die perfekte Lösung.