In der Fertigungshalle bedeutet jeder Joule, der für das Trocknen ausgegeben wird, einen Joule, den man nicht für andere Prozessschritte verwenden kann. Herkömmliche Trocknungsanlagen neigen dazu, wegen des thermischen Verzugs über das gewünschte Niveau hinauszutrocknen – das verschwendet Energie und gefährdet außerdem die Qualität der Photolackschichten. Wir haben eine Trocknungsplattform entwickelt, um diesen Energieverlust zu reduzieren und gleichzeitig eine präzise thermische Kontrolle zu gewährleisten.
Was technisch wichtig ist:
Wir nutzen Mittelwellen-Infrarotstrahler in Kombination mit einer Sensoranordnung aus dünnen Schichten, um die Stabilität des Temperaturwertes auf ±0,1°C zu gewährleisten. Dadurch erhalten Sie wiederholbare Ergebnisse bei der Trocknung sowie eine bessere Kontrolle über die Dicke der Schicht. Die Anlage arbeitet mit 230 V AC, ist kompakt gebaut und die Strahleranordnung ist modulär, sodass man die Module während der Wartung schnell austauschen kann. Die Anlage läuft in einem Reinraumumfeld – Klasse 1–100 – ohne jegliche Partikelbildung, was durch kontinuierliche Überwachung sichergestellt wird. Der Energieverbrauch sinkt, da die Reaktionszeit kurz ist und der Überschuss minimiert wird. Dadurch bleibt das thermische Budget im Rahmen.
Warum es in der Praxis funktioniert:
Das Trocknen geht nicht nur darum, Lösungsmittel zu entfernen. Es geht vielmehr darum, die Schicht vor der Belichtung sowie vor dem Einbau der Komponenten zu stabilisieren. Mit dieser Plattform können Sie die Prozesseffizienz erhöhen, während gleichzeitig der Energieverbrauch pro Batch gesenkt wird. Die Homogenität auf Waferniveau hilft dabei, Probleme wie Randprobleme oder Rückstände zu vermeiden – dadurch entstehen weniger Ausschussstoffe und weniger Nacharbeit. Wir haben gesehen, dass diese Plattform auch in 24/7-Betriebsbedingungen zuverlässig funktioniert, ohne Ausfälle. Zudem sorgt die Wiederholbarkeit der Trocknungsprofile dafür, dass die Qualität der Produkte konstant bleibt.
Was Sie im Voraus wissen sollten:
Die Nachrüstung besteht darin, die vorhandenen Schnittstellen anzupassen sowie die Entlüftungsleistung zu überprüfen. Es erwartet Sie eine kurze Einarbeitungsphase, um die PID-Einstellungen an die Geometrie des Behälters sowie die Menge an Lösungsmitteln anzupassen. Sobald das erledigt ist, haben Sie eine energieeffiziente Lösung, die den internationalen Normen entspricht und eine valide Alternative zu den herkömmlichen Trocknungsmodulen darstellt.