Ihre Produktionsstätte auf Reinenheitsgrad Klasse 100 halten
In der Welt der Halbleiter reicht bereits ein einziger Staubkorn oder ein winziges Stückchen metallischen Oxids aus, um eine Wafer zu zerstören. Das ist wirklich schlimm. Die meisten Heizelemente sind einfach nicht dafür geeignet – sie geben bei jedem Aufheizen und Abkühlen Gase ab oder setzen kleine Partikel frei.
Deshalb verwenden wir Hochreinigkeits-Synthetikquarzlampen. Sie sind speziell für Reinräume mit Reinstigkeitsgrad Klasse 100 (ISO 5) entwickelt worden – schließlich verursachen sie keine Unreinheiten.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden gefügtes Siliziumdioxid mit fast keinen Verunreinigungen. Dadurch gelangen weder Ionen noch Partikel aus der Lampe heraus, während sie in Betrieb ist. Normales Glas dehnt sich unter Druck aus, doch dieses Material bleibt auch bei extremen Temperaturen fest. Dadurch bleibt die Vakuumisolierung intakt und die Heizzone steril.
Intelligente Heizung – weniger Chaos.
Diese Lampen nutzen konzentrierte Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Das Beste daran: Der Substrat wird direkt erhitzt. Es wird keine Energie verschwendet, indem die Luft oder das Gehäuse der Maschine erhitzt wird. Das ist enorm wichtig, denn dadurch entstehen keine störenden Konvektionsströmungen. Wenn die Luft zu stark erhitzt wird, kann Staub aus dem Boden in die Produktionszone gelangen. Das möchte natürlich niemand.
Sie können die exakte Leistung sowie Länge der Lampen entsprechend Ihrer Anforderungen wählen. Ein Hinweis: Diese Lampen werden in einem sehr kleinen Bereich extrem heiß. Wenn Sie hohe Leistungen wählen, stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlsysteme damit umgehen können – sonst könnten die Lampen beschädigt werden.
Die kleinen Details, die wichtig sind.
Wir verwenden präzise passende Stecker – lose Verbindungen sind nämlich katastrophal. Sie führen dazu, dass es zu Spannungssprüngen kommt, und dadurch entstehen metallische Mikropartikel. Für einen Ingenieur in einer Produktionsstätte ist das ein echter Albtraum.
Noch eines: Tragen Sie beim Anschließen der Lampen stets lintfreie Handschuhe. Im Ernst! Selbst eine einzelne Fingerkuppe hinterlässt Ölspuren. Wenn die Lampe dann ihre Betriebstemperatur erreicht, brennt dieses Öl in den Quarz ein – dadurch entsteht ein „heiße Stelle“, die die Lampe viel früher zerstört.
Glücklicherweise sind diese Lampen als Ersatz für die meisten hochwertigen Produktionsanlagen geeignet – daher ist es recht einfach, sie in Betrieb zu nehmen.