Warum wir Gold verwenden, um Wärmeverluste zu vermeiden
Wenn beim Bearbeiten der Wafer eine enorme Energieaufnahme zu verzeichnen ist, aber die Temperaturen nicht auf dem gewünschten Niveau liegen, liegt das wahrscheinlich an Problemen in der Geometrie des Systems. Im Grunde genommen entweicht die Wärme – anstatt auf die Waferoberfläche zu gelangen, strahlt diese Infrarotenergie in den Maschinenrahmen ab. Das ist eine totale Verschwendung von Strom.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind.
Es geht nicht um den Glanz
Seien wir ehrlich: Wir verwenden Gold nicht dafür, dass die Maschine besser aussieht. Herkömmliche Aluminiumreflektoren saugen einfach zu viel Energie auf. Gold hingegen ist äußerst effektiv darin, das nahe-infrarote Licht genau dorthin zurückzusenden, wo es hingehört.
Durch die Verwendung einer goldbeschichteten Oberfläche können wir den Energiefluss gezielt lenken. Das Ergebnis: Die gewünschte Temperatur auf der Waferoberfläche wird erreicht, ohne dass die Leistung der Stromversorgung erhöht werden muss. Dadurch sinken die Stromkosten – und die Hardware läuft kühler.
Die Wärme genau dorthin leiten
Das eigentliche Ziel ist es, die Wärmedichte zu steuern. Niemand möchte „kalte Stellen“ auf der Waferoberfläche haben – dadurch entstehen ungleichmäßige Ergebnisse und viel verschwendetes Material.
Wir gestalten die Krümmung dieser Reflektoren so, dass die Energie genau in die gewünschte Zone geleitet wird. Dadurch wird die Anlaufzeit deutlich verkürzt. Zudem entsteht ein gleichmäßigeres Wärmeprofil. Das bedeutet, dass die Ränder der Wafer nicht überhitzt werden und die gesamte Oberfläche gleichmäßig behandelt wird.
Der Nachteil – und wie man damit umgeht
Das Problem ist: Wenn man so viel Energie konzentriert, wird die Hülle des Reflektors stark belastet. Während die Wafer die benötigte Wärme erhält, muss die Umgebungstemperatur hoch bleiben. Dadurch beginnt die Goldbeschichtung abzunehmen – und die Effizienz nimmt ab.
Achten Sie auf die Goldoberfläche: Wenn sie schmutzig oder oxidiert wird, sinkt die Strahlungsleistung sofort. Dann müssen Sie die Heizungen stärker einstellen, um das Problem auszugleichen. Das ist jedoch sinnlos. Halten Sie die Oberflächen sauber und sorgen Sie für einen guten Luftstrom – dann funktioniert das System einwandfrei.