Správné sušení destiček MEMS
Při výrobě senzorů typu MEMS je odstranění vlhkosti opravdu náročné úkolem. Destička musí být suchá, ale nemůžete ji jednoduše ohřívat vysokou teplotou – jinak se substrát zkreslí nebo zůstanou po něm nečistoty.
Právě za tímto účelem používáme infračervené sušicí čerpadla. Využíváme kvartové lampy s vysokou intenzitou světla, které povrch destičky rychle vysuší během několika sekund. Je to opravdu rychlé.
Balanc mezi výkonem a teplotou
Věc je v tom, že nemůžete prostě zvýšit výkon a doufat v to nejlepší. Pokud to uděláte, vzniknou „horká místa“, která poškodí vaše destičky.
Strávíme spoustu času hledáním správné kombinace výkonu a napětí v závislosti na velikosti vaší komory. Samozřejmě, vyšší výkon zvyšuje rychlost výroby, ale zároveň zatěžuje zdroj energie. Musíte experimentovat s vzdáleností lampy od povrchu a jejím pracovním cyklem, abyste zajistili, že teplota povrchu zůstane na správné úrovni.
Součásti za krytem
Pro výrobu lamp používáme kvartové materiály vysoké čistoty. Proč? Protože poslední věc, kterou chcete, je, aby do vaší čisté místnosti pronikly škodlivé látky.
Používáme také povlaky pro krátkovlnné infračervené záření. Krátkovlnné záření dokáže efektivněji proniknout skrz vrstvu vlhkosti než dlouhovlnné záření. A protože tyto lampy neustále fungují a vypínají se, používáme pro ně odolné konektory, aby nezačaly hořet po několika týdnech.
Realita v praxi
Buďme upřímní: instalace těchto sušičů do výrobní linky typu MEMS rozhodně není tak jednoduchá, jak se může zdát.
Intenzita tepla je velmi vysoká. Pokud nemáte efektivní systém chlazení nebo výdechový systém s vysokým průtokem vzduchu, teplo se dostane přímo do samotného korpusu zařízení. A jakmile začnou okolní elektronické komponenty selhat kvůli přehřátí, máte opravdu velký problém.
Několik tipů z praxe:
Vyberte si lampy, které lze snadno nahradit. To výrazně usnadní údržbu a sníží dobu pozastavení výroby. Také vždy používejte kalibrovaný pyrometr k ověření teploty povrchu předtím, než začnete vyrábět celou série destiček. Je to malý krok, který vám ušetří spoustu plýtvání křemíkem.