Zabraňte přehřívání nástrojů na zpracování čipů
Všimli jste si někdy toho, jak standardní infračervené ohřevy prostě… vyzařují teplo do všech stran? Je to jako snažit se rozsvítit svíčku pomocí plamenometu. Chcete, aby čip byl horký, ale místo toho veškerá ta energie působí na celou vakuovou komoru.
Ten „zbytečný žár“ je noční můra. Promění váš drahý nástroj v obrovský chladič, což vede k teplotním výkyvům – a co je nejhorší, hrozí opravdové nebezpečí popálenin pro lidi v dílně.
Našli jsme lepší řešení: směrový ohřev.
Jak to vlastně funguje
Místo toho, abychom vyzařovali teplo do všech stran, používáme krátkovlnné infračervené lampy a precizní reflektory. Představte si to jako přechod od běžné žárovky k laseru. Energie je tak posílána přímo na povrch čipu.
Výsledkem je, že stěny komory zůstávají chladné. Stále máte tu velmi rychlou rychlost ohřevu potřebnou pro proces RTP, ale zároveň se váš nástroj nepřehřívá.
Detaily a kompromisy
Používáme kvartové trubice s vysokým výkonem – protože mají velkou účinnost. Jsou navrženy pro vysokou hustotu výkonu, takže čip dosáhne požadované teploty během několika sekund.
Ale je tu jeden problém: musíte sledovat své chladicí systémy. Protože paprsek je velmi soustředěný, je teplotní tok v bodě fokusu velmi vysoký. Pokud váš chladicí systém nezvládne tyto maximální zátěže, objeví se na čipu lokalizované body s vysokou teplotou. Je to kompromis, ale lze ho snadno řešit, pokud jsou parametry správně nastaveny.
Bezpečnější pracoviště
Když stěny již neabsorbují zbytečné teplo, vnější část stroje zůstává chladná na dotek. To je velký benefit pro lidi, kteří nakládají nástroje nebo provádějí údržbu. Už nemusí se vyhýbat horkým povrchům.
Navíc vaše utěsněné prvky budou skutečně vydržet déle. Obvykle tyto parts přestanou fungovat příliš brzy kvůli neustálému vystavení nepřímému teplu. Teď mohou prostě plnit svou funkci.
Nejlepší na tom je, že se jedná o náhrady, které se jednoduše zapojí do vašich stávajících ovladačů. Vaše energetické nároky se tím výrazně sníží. Jednoduché.