Zastavení noční můry kontaminace při sušení v továrně na výrobu čipů
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě víte, jaké to je – jeden jediný zrnko prachu může vážně ovlivnit kvalitu vašich čipů. Je to frustrující. Většinou jsou za to vinny tepelné prvky – uvolňují plyny nebo odpadávají drobné částice právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby zůstaly stabilní.
Proto jsme pro naše IR lampy použili syntetický křemín o vysoké čistotě. To prostě zastavuje tento chaos.
Proč to opravdu funguje
Standardní sklo totiž nemůže odolat teplu bez toho, aby se nerozpadlo nebo neuvolnilo mikroskopické částice. My používáme obaly z křemínu o vysoké čistotě – ty zůstávají pevné i při maximálních teplotách.
Kromě toho jsme odstranili veškeré zbytečnosti – žádné lepidla, žádné organické vrstvy… Nic, co by se během prvních cyklů spálilo a poškodilo váš proces.
Používáme také krátkovlnné IR záření. Místo toho, aby se zahříval vzduch kolem čipu, teplo proniká přímo do samotného podkladu. Méně horkého vzduchu znamená méně částic, které by se mohly zvednout ze země. Jednoduché.
Detaily konstrukce
Všichni jsme viděli ty levné IR trubice, které prostě přestanou fungovat. Je to otrava. My se tomu vyhýbáme tím, že přesně nastavujeme obsah halogenu a tloušťku stěn křemínového obalu. Jde o rovnováhu mezi dostatkem tepla a trvanlivostí lampy.
Ale máme jednu radu: sledujte hustotu napětí. Pokud umístíte vysokovýkonovou lampu do malého prostoru, vytvoříte obrovské tepelné zatížení. Pokud vaše chladicí systém nezvládne tento nápor, může dojít ke zkreslení konstrukce lampy.
Instalace do vaší továrny
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se daly jednoduše nahradit. Nemusíte přestavovat celý sušičský modul – prostě se hodí. Používáme precizně vyrobené kryty, aby vše zůstalo hermeticky uzavřené a nitě uvnitř se neokyslily.
Výsledek? Máte čistý, suchý zdroj tepla. Žádné kovové ionty, žádné zbytky uhlíku, žádné překvapení. Pro inženýry, kteří už mají dost boje s náhodnými výskyty kontaminace během fáze sušení, je to skvělé řešení.